电子级磷烷，是一种以磷化氢为主要成分的超高纯度特种电子气体。与工业级磷烷相比，电子级磷烷具备还原性强、纯度高、工艺适配性强等特点，在半导体制造领域拥有广阔应用前景。
电子级磷烷制备方法包括电化学合成法、亚磷酸分解法、金属磷化物酸解法、金属磷化物水解法、黄磷氧化法等。亚磷酸分解法，指以亚磷酸为原材料，在无氧条件下，经液化、加热、分解、提纯等流程制得成品，该法具备原材料易得、运行成本低、绿色环保、操作流程简单等优势，适合进行连续化生产，未来有望成为电子级磷烷主要制备方法。
根据新思界产业研究中心发布的《
2025年中国电子级磷烷市场专项调研及企业“十五五规划”建议报告》显示，半导体制造领域为电子级磷烷主要需求端，占比达到近八成。近年来，随着技术进步，我国半导体器件行业逐渐往集成化、小型化以及高性能方向发展。电子级磷烷作为电子特气，可用于硅外延片掺杂、离子注入、化学气相沉积等半导体制造工艺中。未来随着全球半导体产业逐渐往我国大陆转移，我国电子级磷烷应用需求将进一步增长。
在行业发展初期，受技术壁垒高、生产成本高等因素限制，海外企业长期占据全球电子级磷烷市场主导地位。德国林德集团（Linde）、美国默克公司（Merck&Co）、日本大阳日酸株式会社、日本Rasa工业株式会社、比利时索尔维公司（Solvay）等为全球知名电子级磷烷生产商。以上企业均具备6N级以上电子级磷烷批量生产实力。
在本土方面，虽然我国电子级磷烷行业起步较晚，但发展势头迅猛，已有多家企业掌握其高端产品核心制备技术。南大光电、兴发化工、大洋天庆、正帆科技等为我国电子级磷烷市场主要参与者。南大光电专注于电子特气、先进前驱体以及光刻胶等电子材料的研发、生产及销售，为我国电子级磷烷最大供应商。目前，南大光电生产的电子级磷烷纯度已达到7N级，位居全球领先。
新思界
行业分析人士表示，电子级磷烷性能优异，应用前景广阔。未来随着我国半导体制造行业发展速度加快，电子级磷烷市场空间将得到进一步扩展。受益于本土企业持续发力，我国电子级磷烷技术水平不断提升。预计未来一段时间，我国电子级磷烷行业将逐渐往高品质方向发展。
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