二氯硅烷，又称二氯甲硅烷，化学式为SiH₂Cl₂，是一种无机化合物。电子级二氯硅烷为二氯硅烷代表产品，其外观呈无色气体，具备纯度高、耐高/低温等特点，在半导体制造领域需求旺盛。
电子级二氯硅烷制备方法包括氢化法、歧化法、氯化法三种。氢化法指以四氯化硅为原材料，在高温状态下经过氢化反应制得成品，该法可用于制备纯度在99.9％以上的电子级二氯硅烷；歧化法为电子级二氯硅烷传统制备方法，该法通常以三氯氢硅为原材料，加入催化剂，经歧化反应制得成品；氯化法存在成品收率低、成品质量差等问题，目前尚未实现规模化应用。
提纯为电子级二氯硅烷制备关键环节，吸附法以及精馏法为其常用提纯方法。吸附法指在高压状态下，将二氯硅烷粗品置于填充有承载硅化镍的固定床中，再加入吸附剂吸附氧气，最终制得成品；精馏法指先对粗品进行溶液处理，再经过精馏、提纯制得成品。
根据新思界产业研究中心发布的《
2025-2029年全球及中国电子级二氯硅烷行业研究及十五五规划分析报告》显示，电子级二氯硅烷在半导体制造领域需求旺盛，其作为电子特气，可用于集成电路氮化硅掩蔽膜以及硅外延片制备环节。近年来，随着国家政策支持以及技术进步，我国集成电路行业发展速度不断加快。据国家工信部统计数据显示，2024年我国集成电路产量达到4514亿块，同比增长22.2%。未来随着下游行业景气度提升，电子级二氯硅烷市场空间将得到进一步扩展。
我国电子级二氯硅烷主要生产企业包括北方特气（浙江）科技有限公司、全椒亚格泰电子新材料科技有限公司。北方特气正在积极推进硅基新材料及第三代半导体材料一体化项目建设，一期项目建成后，其电子级二氯硅烷年产能将达到500吨。全椒亚格泰专注于泛半导体高端关键原材料的研发、生产及销售，其电子级二氯硅烷已在12寸晶圆制备过程中获得应用。
新思界
行业分析人士表示，电子级二氯硅烷作为一种电子特气，在半导体领域应用较多。未来随着我国半导体行业发展速度加快，电子级二氯硅烷市场需求将日益旺盛。随着技术进步，我国高品质电子级二氯硅烷市场占比有望提升。目前，我国企业正在积极推进电子级二氯硅烷相关产能建设，未来其行业发展前景将持续向好。
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