五氟化锑，化学式为SbF5，是一种无机化合物。五氟化锑外观呈无色透明液体或气体，可溶于乙醚、无水乙醇和苯，不溶于喹啉和吡啶。五氟化锑具备质子给予能力强、路易斯酸性强、耐腐蚀等优势，可用作锑化合物前驱体。
五氟化锑主要原材料包括三氧化二锑、五氯化锑等。三氧化二锑，又称锑白，是一种具备催化性、阻燃性以及环保性的无机化合物，在工业生产、石油炼制等众多领域应用广泛。三氧化二锑制备方法主要包括干法和湿法两种。近年来，随着技术进步，我国三氧化二锑产量有所增长，这将为五氟化锑行业发展奠定良好基础。
纯化为五氟化锑制备关键环节，包括负压蒸馏提纯法、精馏提纯法等。负压蒸馏提纯法指在操作温度为50℃、操作压力为-0.09MPa条件下，利用回流冷凝器对五氟化锑粗品进行蒸馏提纯，该法具备操作流程简单、成品收率高等优势，但其成品纯度较低；精馏提纯法指利用精馏塔对五氟化锑进行提纯，该法可用于制备高纯度产品。
根据新思界产业研究中心发布的《
2025-2030年中国五氟化锑（SbF5）行业市场深度调研及发展前景预测报告》显示，五氟化锑为锑化合物前驱体，在半导体制造领域拥有广阔应用前景，其可通过离子注入方式将锑引入晶圆中。近年来，随着全球半导体产业向我国大陆转移，我国晶圆产能持续扩张。2024年我国大陆占据全球晶圆总产能近两成。高纯度五氟化锑在晶圆制备过程中应用较多。未来随着下游行业发展速度加快，我国五氟化锑市场需求将进一步增长。
我国五氟化锑主要生产企业包括威斯特（东营）特种气体有限公司、天津长芦华信化工股份有限公司、福建三明金氟化工科技有限公司、湖南凯美特气体股份有限公司等。威斯特气体正在积极推进电子新材料项目建设，一期项目建成后，其电子级五氟化锑年产能将达到1吨。三明金氟的含氟新材料及清洁生产提升项目已获批，建成后其高纯五氟化锑新增年产能将达到30吨。
新思界
行业分析人士表示，五氟化锑综合性能优良，在半导体制造领域拥有潜在应用价值。未来随着我国晶圆产能持续扩张，五氟化锑行业发展速度有望加快。受益于技术进步，我国五氟化锑市场参与者数量不断增长。目前，我国企业正在积极推进高性能五氟化锑产能建设，未来其行业发展态势将持续向好。
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