三氟化硼11是一种由硼-11同位素构成的特种气体，化学式为11BF3，是一种无色气体，具有强烈的窒息性，遇水或湿气会迅速水解并生成剧毒的氟化物烟雾，化学性质极为活泼，与金属、有机物等发生剧烈反应。
高纯度的三氟化硼11是电子工业中的重要原材料之一，尤其在半导体制造领域展现出显著优势。相较于包含硼-10和硼-11的天然硼，三氟化硼11纯度更高，且中子吸收截面积极低。这一特性使其可作为离子注入和掺杂源，广泛应用于硅和锗的外延生长、扩散、离子注入及等离子刻蚀等半导体制造工艺，能有效提升芯片的稳定性和抗辐射能力。此外，三氟化硼11还可参与乙硼烷、三氯化硼等化工材料的制备，以及光纤预制件的生产。在显示面板行业，三氟化硼11可作为硼源，用于液晶显示器（LCD）和有机发光二极管（OLED）的制造。
根据新思界产业研究中心发布的
《2025-2030年中国三氟化硼11行业市场深度调研及发展前景预测报告》显示，现阶段，全球三氟化硼11市场由少数几家大型跨国企业主导，核心厂商包括3M、Entegris、Linde、Matheson、Messer等。这些企业在技术、产能和市场份额上均占据显著优势。在产品类型中，丰度≥99.8%的三氟化硼11占据主导地位，下游应用以半导体行业为主。
中国三氟化硼11市场起步较晚，同时由于三氟化硼11生产技术壁垒高、产能较低，我国高端产品仍依赖进口，国产化率处于较低水平。为此，近年来，我国企业加大了对三氟化硼11的研发力度，以满足不断扩大的市场需求。随着研究的深入和制备技术的突破，部分企业已实现电子级高丰度三氟化硼11的量产。例如，2023年上海化工研究院研发的电子级高丰度硼11同位素生产工艺已在山东合益气体股份有限公司实现稳定量产，产品丰度达到99.9%以上，填补了我国在高丰度硼11同位素产业上的空白。目前，我国三氟化硼11领域代表性厂商包括兆捷科技、山东合益气体、山东重山光电材料等。
新思界
行业分析人士表示，三氟化硼11作为半导体制造中的关键材料，在半导体和显示面板领域具有不可替代的作用，其市场前景广阔。未来，随着5G、物联网、新能源汽车的普及，半导体行业对高纯度、高丰度三氟化硼11的需求将持续增长。国内厂商需加大研发投入，提升产品纯度和稳定性，以应对进口替代需求，为我国半导体产业和高端制造提供更稳定、安全的材料保障。
