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旋涂玻璃(SOG)能够实现晶圆平坦化处理 全氢聚硅氮烷(PHPS)为其主要原材料

2025-06-03 10:12      责任编辑:杨光    来源:www.newsijie.com    点击:
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        旋涂玻璃(SOG),指通过旋涂技术在基板表面形成薄膜的功能性材料。旋涂玻璃具备平坦度高、耐腐蚀、化学稳定性好、绝缘性佳、光学特性好等优势,在半导体制造的光刻工艺中应用较多。

        旋涂玻璃通常以聚硅氧烷、正硅酸乙酯以及全氢聚硅氮烷为原材料制成。聚硅氧烷具备吸水性,但其高温稳定性较差;正硅酸乙酯具备耐热性,但在旋涂玻璃制备过程中易产生裂化;采用全氢聚硅氮烷(PHPS)制成的旋涂玻璃,具备弹性模量高、硬度大、膜层致密、介电常数高等优势。近年来,随着技术进步,我国全氢聚硅氮烷产量有所增长,这将为旋涂玻璃行业发展提供有利条件。

        光刻材料种类丰富,包括光刻胶、旋涂玻璃(SOG)、旋涂碳(SOC)、抗反射涂层(ARC)等。近年来,国家对于光刻材料行业发展高度重视,已出台多项相关政策,包括《产业结构调整指导目录(2024年本)》、《重点新材料首批次应用示范指导目录(2024年版)》、《关于推动未来产业创新发展的实施意见》等。未来伴随国家政策支持,我国旋涂玻璃行业发展速度有望加快。

       根据新思界产业研究中心发布的《2025-2030年中国旋涂玻璃(SOG)行业市场深度调研及发展前景预测报告》显示,旋涂玻璃主要应用于半导体制造的光刻工艺中,能够实现晶圆平坦化处理。在应用需求拉动下,全球旋涂玻璃市场规模不断增长,2024年同比增长近8%。在本土方面,随着全球半导体产业向我国大陆转移,我国大尺寸晶圆行业景气度不断提升。2024年我国12英寸晶圆月均产能达到近250万片,同比增长超过10%。未来随着晶圆产能不断扩张,我国旋涂玻璃行业发展空间有望扩展。

       全球旋涂玻璃主要生产企业包括韩国三星、德国默克以及日本JSR三家。在本土方面,我国旋涂玻璃行业尚处于起步阶段,受技术壁垒高等因素限制,市场参与者较少。夸泰克具备旋涂玻璃规模化生产实力,产品已在半导体制造领域获得应用。

        新思界行业分析人士表示,受益于半导体行业发展速度加快,旋涂玻璃将迎来广阔市场前景。在市场竞争方面,欧美以及日韩国家长期占据旋涂玻璃市场主导地位。目前,我国旋涂玻璃生产企业较少,市场占比较低。未来伴随国家政策支持以及技术进步,我国旋涂玻璃产量及质量有望提升。
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