超高纯氨水，指纯度达到99.9995%（5N5）及以上级别的氨水。超高纯氨水具备化学稳定性好、纯度高等优势，在光伏、半导体制造、显示面板及生物医药等领域拥有广阔应用前景。
纯化为超高纯氨水核心制备环节。膜分离法、低温精馏法以及吸附法等为超高纯氨水常用提纯工艺。低温精馏法指先将氨水进行预处理，经过除杂、加热、蒸馏、冷却、提纯等流程制得成品，该法具备成品收率高、成品纯度高、运行成本低等诸多优势，为超高纯氨水主流纯化工艺。未来伴随技术进步，我国超高纯氨水产量及质量将不断提升。
超高纯氨水在众多领域拥有广阔应用前景，主要包括光伏、半导体制造、显示面板及生物医药等。在光伏领域，超高纯氨水可用于提升光伏硅片用氮化硅薄膜的质量；在半导体制造领域，其可用于晶圆清洗以及湿法蚀刻环节；在显示面板领域，其可用于清洗液晶显示面板；在生物医药领域，以其为基材制成的氨基保护剂，可用于保护药物分子。
根据新思界产业研究中心发布的《
2025-2030年中国超高纯氨水行业市场深度调研及发展前景预测报告》显示，半导体制造领域为超高纯氨水最大需求端。近年来，随着全球半导体产业向我国大陆转移，我国晶圆产能持续扩张。2024年我国晶圆产能同比增长超过10%，位居全球领先。受益于技术成熟度提升，我国大尺寸晶圆市场占比有所提升。目前，华虹半导体、中芯国际、粤芯半导体以及格科半导体为我国已具备12英寸晶圆规模化生产实力的企业。未来随着下游行业发展速度加快，我国超高纯氨水市场空间将得到进一步扩展。
我国超高纯氨水主要生产商包括江苏达诺尔科技股份有限公司、河北中科富峰氢能科技有限公司、滕州祥润化工有限公司、海宁市英德赛电子有限公司等。达诺尔专注于超高纯微电子化学品的研发、生产及销售，拥有超高纯氨水独立知识产权。目前，达诺尔已与我国知名半导体制造商达成合作，为其批量供应超高纯氨水。
新思界
行业分析人士表示，受益于我国半导体行业发展速度加快，超高纯氨水应用需求不断增长，市场空间持续扩展。与海外发达国家相比，我国超高纯氨水行业起步较晚，但发展实力迅猛，本土企业已具备其规模化生产实力。未来随着技术成熟度提升，我国高品质超高纯氨水市场占比将有所提高。
