含氟电子特气指可在电子工业中使用，含有氟元素的高纯度气体。含氟电子特气具有反应活性高、氧化性强、纯度高、化学稳定性好等优势，在半导体制造、光伏、显示面板等领域拥有广阔应用前景。
常见含氟电子特气包括六氟丁二烯（C4F6）、三氟化氮（NF3）、六氟化钨（WF6）、三氟化氯（ClF3）、六氟化硫（SF6）、二氟甲烷（CH2F2）等。六氟丁二烯属于新型含氟电子特气，具有绿色环保、热稳定性好、选择性高等优势，适用于大规模集成电路的刻蚀环节。2023年全球六氟丁二烯市场规模达到近5亿美元。未来随着六氟丁二烯市场规模持续增长，含氟电子特气行业景气度将不断提升。
近年来，我国政府对于电子特气行业发展高度重视，已出台多项鼓励政策。2022年4月，国家工信部、发改委、科技部等六部门联合发布《关于“十四五”推动石化化工行业高质量发展的指导意见》，文件明确提到要实施“三品”行动，加快发展工业特种气体、电子化学品、生物基材料以及高性能纤维等产品。未来伴随国家政策支持，我国含氟电子特气行业发展速度将有所加快。
根据新思界产业研究中心发布的《
2024-2029年中国含氟电子特气行业市场深度调研及发展前景预测报告》显示，半导体制造领域为含氟电子特气最大需求端，占比达到近七成，其可用于集成电路刻蚀和清洗环节。据国家工信部统计数据显示，2023年我国集成电路产量达到3514亿块，同比增长6.9%。预计未来一段时间，伴随市场需求逐渐释放，我国集成电路产量仍将保持增长趋势，这将为含氟电子特气行业发展带来机遇。
我国含氟电子特气市场主要参与者包括南大光电、昊华科技、中船特气、福建德尔、广钢气体等。南大光电为我国电子特气龙头企业，主营产品包括六氟化硫、三氟化氮等，其产业基地主要分布于安徽滁州、内蒙古乌兰察布以及山东淄博。据南大光电企业年报显示，2023年公司特气产品实现营收12.3亿元，同比增长2.9%。
新思界
行业分析人士表示，作为电子特气市场主流产品，含氟电子特气在半导体领域拥有广阔应用前景，未来伴随下游行业快速发展，其市场需求将日益旺盛。受益于国家政策支持以及技术进步，我国含氟电子特气行业景气度不断提升。目前，我国已有多家企业具备含氟电子特气规模化生产能力，未来其市场国产化进程将有所加快。
