六氟化钨是一种化学式为WF6的无机化合物，常温常压下外观呈无色气体状，能溶于多数有机溶剂，是钨氟化物中唯一实现工业化生产的品种。
目前工业上生产六氟化钨的主流工艺为氟化剂氧化法，生产路径分为两种：一种是以氟气作为氟化剂与钨反应生成六氟化钨的方法；另一种是以三氟化氮（nf3）作为氟化剂与钨反应生成六氟化钨的方法。其中第一种生产路径是目前工业生产六氟化钨的主流方法，通过该方法生产的六氟化钨经提纯精馏后产品纯度可达99.999%以上。
六氟化钨具有遇水分解、空气中不燃烧、化学性质活泼、腐蚀性强、金属氟化强、电性能良好等特性，可应用于电子、工业、光学材料、电力、化工、能源等领域。其中电子工业是六氟化钨主要应用领域，在该领域，六氟化钨主要作为高性能沉积材料，广泛应用于化学气相沉积工艺中，通过沉积与堆叠制备生成集成电路中的导电膜和金属配线材料。
但当前我国六氟化钨产量与持续增长的市场需求不相匹配，产量仍处于较低水平，且增速缓慢，主要原因在于受技术、资金限制，目前我国实现六氟化钨量产的企业数量还比较少，仅有派瑞特气、昊华科技等少数几家。同时，本土六氟化钨企业与德国默克、日本关东电化、韩国SK Materials、韩国厚成、日本大阳日酸等国际企业在技术、品牌建设、产品布局等方面差距较大。
新思界
行业分析人士表示，目前我国六氟化钨进口依赖性还比较强，进出口市场呈现出贸易逆差局面。根据海关总署数据显示，2022年我国六氟化钨整体进口量为715.8吨，进口额为4126.8万美元，出口量为418.85吨，出口额为2424.22万美元。未来在国内半导体产业景气度持稳运行背景下，六氟化钨市场需求将不断增加。但目前国产产能难以满足日益增长的市场需求，未来本土企业还需加快提升技术水平与产品研发实力，促进国内六氟化钨市场国产化水平不断提升。
