特种工业气体在纯度、品种、性能等方面具有较高的标准，广泛应用于集成电路、显示面板、光伏能源、新能源汽车、航空航天、医疗等领域。电子特种气体是特种工业气体的分支，是电子工业不可或缺的关键性原材料，其品质对电子元器件的性能有着重要影响，广泛应用于薄膜、光刻、刻蚀、掺杂、气相沉积、扩散等工艺。
电子特种气体种类繁多，主要气体包括三氟化氮、六氟化钨、氯化氢、氟化氢、四氟化、氘气、六氟丁二烯、八氟环丁烷、八氟丙烷、六氟乙烷以及一些混合气体等，纯度是电子特种气体重要指标之一，纯度直接影响电子产品的良品率和可靠性。通常纯度有99.99%（4N）、99.999%（5N）、99.9995%（5N5）等几类，部分气体纯度需要达到6N及以上。
近年来，电子特种气体产业得到国家政策的大力支持，主要有《“十三五”国家战略新兴产业发展规划》、《新材料产业发展指南》、《新时期促进集成电路产业和软件产业高质量发展的若干政策》、《重点新材料首批应用示范指导目录（2021版）》等政策。在政策大力支持下，以及下游半导体等产业快速发展带动下，我国电子特种气体市场获得了快速发展。新思界发布的
《2022-2026年中国电子特种气体行业市场行情监测及未来发展前景研究报告》显示，2021年中国电子特种气体市场规模接近200亿元，预计2025年将突破300亿元。
由于电子特种气体技术壁垒较高，目前该行业市场集中度相对较高。在全球市场中，电子气体前十大企业占据全球市场的90%，其中林德、液化空气、大阳日酸和空气化工四大厂商占据70%以上的市场份额。具体到电子特种气体领域，全球主要生产企业为SK Materials、关东电化昭和电工、派瑞特气等，这些企业在总体规模上均与国际巨头存在差距，但在细分领域具有较强的竞争力。
新思界
投资分析师指出，随着我国集成电路产业的快速发展，显示面板行业的规模效应日益凸显，电子特种气体市场需求获得快速发展，吸引了越来越多的企业布局，国内电子气体企业加大研发，不断突破国外技术壁垒，本地化生产质量水平持续提高，现阶段我国电子特种气体行业规模较大的企业主要有南大光电、昊华科技、华特气体、金宏气体、雅克科技、派瑞特气体等。
