硅烷(SiH4)是硅和氢的化合物的总称,包含甲硅烷(SiH4)、乙硅烷(Si2H6)等产品,其中甲硅烷最为常见。硅烷是目前电子气体中应用最广、影响最大的气体品种,主要应用在半导体工业中,用于生产高纯多晶硅、氮化硅薄膜、多晶硅隔离层等产品。硅烷(SiH4)对于纯度要求较高,且自身具有高危险性,因此目前生产技术主要被几个发达国家掌控,所采用的的技术主要有硅化镁法、氢化铝锂法、UCC工艺。
硅烷应用范围较广,在微电子、光电子等领域,主要用于生产太阳能电池、平板显示器、玻璃等产品,是世界上规模生产粒状高纯度硅的中间产物。随着现代科技的不断更新,硅烷的应用领域也在不断拓宽,在先进陶瓷、复合材料、功能材料、生物材料、高能材料等制造中有应用。随着硅烷的应用范围拓宽,其市场需求也将随之增长,行业发展前景较好。
根据新思界产业研究中心发布的
《2021年高纯硅烷行业深度市场调研及投资分析报告》显示,在生产方面,全球中实现硅烷生产的企业主要有日本小松电子金属公司、美国普莱克斯、APCI公司、帝国氧气公司、液体碳素公司、三井东亚化学公司、曼特森公司等企业。国内硅烷生产企业较多,其中实现电子级硅烷生产的企业有硅烷科技、中宁硅业、天宏瑞科、兴洋科技、中能硅业等企业,产品多用于光伏领域。
为满足超纯硅的生产需求,当前市场中的硅烷纯度不断提升,国内也有多家企业建立生产研究项目,多采用日本小松电子法,但受生产条件限制,较多企业已经停止生产,目前实现了商业化的企业主要有南京华夏特气公司以及浙江大学。受国际硅烷价格的冲击,在加上国内超纯硅烷生产规模较小,生产技术不成熟,产品纯度不高,或者纯度不稳定,因此本土产品当前主要用于太阳能光伏、硅化玻璃等领域,高纯硅生产需求仍旧依赖进口。
新思界
产业分析人士表示,硅烷作为半导体产中重要的气体产品,随着国内半导体产业、光伏产业的快速发展,硅烷市场需求持续攀升,行业发展速度较快。目前国内已经又大多企业能够生产硅烷,但在更高领域的高纯度硅烷领域国内产能较小,且产品质量与进口产品存在差距,该领域需求仍旧依赖进口。