超纯氨行业属于特种气体中电子气体一类，属于超净高纯电子化学品，是超大规模集成电路制作过程中的关键性基础化工材料之一，主要用于芯片的清洗、蚀刻、掺杂和沉淀工艺。超净高纯电子化学品的纯度和洁净度对集成电路的成品率、电性能及可靠性均有十分重要的影响。近年来，随着LED、集成电路等行业的快速发展，包括超纯氨在内的超净高纯电子化学品的需求量也与日俱增。
国外超纯氨技术发展起步较早，如美国普莱克斯、日本住友化学、法国液化空气以及昭和电工等在超纯氨生产方面积累了较多的生产经验，这些企业也是此前我国超纯氨的主要供应商。由于LED产业发展速度较快，对于超纯氨的需求量逐年上升，很大程度上推动超纯氨技术的发展，超纯氨纯度方面的要求不断提升，工艺技术不断成熟。以法国液化空气和美国普莱克斯为例，在超纯氨工艺应用下，获取的NH3纯度将保持为7N，工艺运用下，主要强调原料取工业氨，通过化学法除水催化法进行除氧，同时辅以吸气剂净化方法，实现提升纯度的目的。
我国在研究超纯气体方面起步较晚，最初建立的超纯氨生产企业为林德公司投资建造，技术应用中主要通过纯化技术系统、Y塔蒸馏等方式实现，可实现7N纯度生产目标。此后，国内较多超纯氨工厂兴建，这在一定程度上推动了国内超纯氨技术的发展。
根据新思界产业研究中心发布的
《2019-2024年超纯氨行业市场深度调研及投资前景预测分析报告》显示，超纯氨经过了由完全依赖进口到自给自足的过程，目前除部分半导体厂家及led芯片厂家依赖进口超纯氨气外，国产氨气完全可以满足国内需求。2014年，我国超纯氨产品产量为3.9万吨，2018年超纯氨产品产量增长为6.3万吨。
近年来我国在超纯氨技术发展上不断突破，除依托于国外如APCI、日本昭和电工等供应商外，国内民营企业也在国内氨净化生产方面投资发展，取得较多的成就，国内规模较大的超纯氨企业有林德气体公司、苏州金宏气体、科利德化工科技开发有限公司、湖南高安新材料有限公司等。
超纯氨生产工艺是目前光电子领域以及其他相关领域发展中的关键技术之争，是获取的高纯度氨的重要保证。新思界
产业研究员表示，纯化法、分子筛法、催化分解法、蒸馏法等较多技术可以引入到超纯氨的生产工艺中，这些方法应用下均可保证所生产的超纯氨达到7N水平。未来技术发展中，需不断做好技术改进优化工作，尽可能使工艺应用成本降低，提高超纯氨产品质量。
