准分子激光器，指以准分子为工作物质的一类气体激光器。准分子激光器具备波长可调谐、量子效率高、分辨率高、能量大、增益高等特点，在显示面板、半导体、医疗卫生以及工业加工等领域有所应用。按工作气体介质不同，准分子激光器可分为氧化物准分子激光器、稀有气体卤化物准分子激光器等。
近年来，国家对于高性能激光器行业发展高度重视，已出台多项相关政策，主要包括《关于推动未来产业创新发展的实施意见》、《产业结构调整指导目录（2024年本）》、《工业母机高质量标准体系建设方案》、《关于推动能源电子产业发展的指导意见》等。未来伴随国家政策支持，准分子激光器作为高性能激光器代表产品，行业发展速度有望加快。
准分子激光器应用范围较广，主要包括显示面板、半导体、医疗卫生以及工业加工等。在显示面板领域，准分子激光器可用于柔性OLED显示面板退火工艺中；在半导体领域，其可用于半导体光刻工艺中；在医疗卫生领域，其可用于眼科屈光手术、皮肤科治疗等场景；在工业加工领域，其可用于微型零件加工、激光退火以及表面处理工艺中。
根据新思界产业研究中心发布的《
2026-2031年准分子激光器行业市场深度调研及投资前景预测分析报告》显示，伴随全球半导体产业逐渐向我国大陆转移，我国集成电路产量不断增长。据国家工信部统计数据显示，2026年1-5月我国集成电路产量达到2286亿块，同比增长25.4%。目前，ArF准分子激光器作为深紫外（DUV）光刻机的核心光源，已在集成电路加工过程中获得广泛应用。未来伴随下游行业景气度提升，我国准分子激光器市场空间将得到进一步扩展。
北京科益虹源光电技术有限公司、合肥意克赛激光科技有限公司、深圳盛方科技有限公司等为我国准分子激光器市场主要参与者。科益虹源专注于准分子激光器的研发、生产及销售，产品已在半导体光刻工艺中获得广泛应用。
新思界
行业分析人士表示，准分子激光器作为脉冲激光光源，具备波长短、能量高等优势，已在众多高新技术领域获得广泛应用。未来伴随我国半导体产业发展速度加快，准分子激光器市场空间将得到进一步扩展。目前，我国部分企业在准分子激光器行业研发方面已取得众多新进展，未来其高性能产品市场占比有望提升。
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