MEMS传感器是微机电系统（Micro-Electro-Mechanical System）传感器，是指采用微电子和微机械加工技术制造出来的一种新型传感器，其核心特征是将微型机械结构与微电子电路集成于单一芯片上，实现对外部物理量或化学量的感知与信号转换。
从技术构成来看，MEMS传感器在单一芯片上集成了微型机械结构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路等部件。其输入通常是物理信号，如压力、加速度、角速度、温度、磁场等，通过传感器转换为电信号，再经过信号处理后由执行器与外界产生作用。MEMS传感器的制造工艺基于半导体集成电路技术，融合了硅微加工、表面微加工、LIGA等多种微加工技术，采用批量化的硅片加工方式实现大批量生产。
与传统传感器相比，MEMS传感器具有以下显著特征：体积小、重量轻，单个传感器的尺寸以毫米甚至微米为计量单位；功耗低，由于微型机械部件惯性小、谐振频率高，所需驱动能量大幅降低；可靠性高，采用硅微加工工艺批量化制造，一致性好；灵敏度和响应速度快，微型化后的机械部件具有更高的表面体积比和更短的响应时间；易于集成，可将不同功能的传感器或执行器集成于一体形成微系统；成本低，批量化生产显著降低单个器件的生产成本。此外，MEMS传感器具备数据预处理、自动校准、自适应和自诊断等智能化特性，能够对外界信息进行检测、处理与逻辑判断。
根据新思界产业研究中心发布的
《2026-2030年全球及中国MEMS传感器行业研究及十五五规划分析报告》显示，2024年全球MEMS市场规模约150亿美元，出货量约310亿颗，预计2030年达到190亿美元，2024-2030年复合增长率4.02%。2024年中国MEMS传感器市场规模约980亿元，2026年市场规模预计突破1300亿元，2024-2030年复合增长率15.18%，全球与中国MEMS传感器市场均保持稳健增长。国内产能利用率维持高位，头部企业加速扩产，但高端惯性传感器、射频MEMS及专用ASIC仍依赖进口，供给呈结构性紧平衡。
新思界
行业分析人士认为，随着AI算力需求爆发、机器人技术革新、商业航天崛起和无人驾驶技术成熟，MEMS传感器正悄然成为这些新兴技术发展的核心支撑，MEMS传感器以其极强的渗透性和适应性成为推动产业革命的关键力量。MEMS传感器行业市场前景广阔，具备长期增长潜力，同时面临技术与产业链挑战。新技术的融合将不断提升传感器的智能处理能力，传感器产品的智能化、小型化、集成化发展趋势各行业提供更完善的传感器解决方案。
