曲面硅电极，又称硅曲面电极，指由高纯单晶硅经精密加工而成的表面具有曲面结构的等离子刻蚀设备组件。与传统平面电极相比，曲面硅电极具备耐腐蚀、结构稳定性佳、能减少颗粒污染、增加等离子体密度、改善气体分布均匀性等优势，在显示面板、集成电路、传感器、照明系统、微机电系统（MEMS）等众多领域拥有广阔应用前景。
单晶硅为曲面硅电极主要原材料，占据其较大生产成本。单晶硅可通过直拉法以及悬浮区熔法制得，具备纯度高、电学性能好、热稳定性佳、光电转换效率高等优势，应用范围较广。受益于技术进步以及市场需求日益旺盛，我国单晶硅产量不断增长，这将为曲面硅电极行业发展提供有利条件。
在行业发展初期，曲面硅电极核心制备技术被海外发达国家掌握，我国需求高度依赖进口。近年来，随着技术进步，我国曲面硅电极市场国产化进程有所加快。五轴精密磨削技术为我国自主研发的曲面硅电极制备技术，具备生产效率高、成品质量好等优势。
根据新思界产业研究中心发布的《
2025年中国曲面硅电极（硅曲面电极）市场专项调研及企业“十五五规划”建议报告》显示，曲面硅电极为等离子刻蚀设备重要组件，在众多领域拥有广阔应用前景。近年来，随着全球半导体产业向我国大陆转移，我国集成电路产量不断增长。据国家工信部统计数据显示，2025年1-7月，我国集成电路产量达到2946亿块，同比增长10.4%。等离子刻蚀工艺能够满足集成电路图形转移、材料去除控制以及结构加工等要求，未来随着应用需求增长，其行业发展速度有望加快。
我国曲面硅电极主要生产企业包括重庆臻宝科技股份有限公司、芜湖通潮精密机械股份有限公司、山东神工化工集团股份有限公司等。臻宝科技专注于先进陶瓷材料、半导体和泛半导体设备核心零部件的研发、生产及销售，其自主研发的刻蚀设备用硅曲面电极11184，已成功入选由重庆市经信委员会发布的《2024年度重庆市重大产业技术创新产品名单》。
新思界
行业分析人士表示，随着我国集成电路产能持续扩张，曲面硅电极作为其刻蚀设备重要组件，市场需求不断增长。与海外发达国家相比，我国曲面硅电极行业起步较晚，但发展势头迅猛，本土企业已掌握其高性能产品制备技术。
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