四（二甲氨基）钛又称四（二甲氨）钛，简称TDMAT，分子式C8H24N4Ti，是一种钛的有机化合物，外观为澄清、黄色液体，遇水剧烈反应，在高温下分解，溶于醇类、苯、四氯化碳等有机溶剂。
根据新思界产业研究中心发布的
《2025-2030年中国四（二甲氨基）钛（TDMAT）行业市场深度调研及发展前景预测报告》显示，四（二甲氨基）钛常用作化学气相沉积（CVD）、原子层沉积（ALD）工艺中的前驱体材料，能够沉积出TiN（氮化钛）、TiO₂（氧化钛）等薄膜。其中氮化钛薄膜具有高导电性、耐腐蚀性，可用用作扩散阻挡层、MOSFET（金属氧化物半导体场效应晶体管）栅极材料、金属间隙填充材料等。
四（二甲氨基）钛属于High-k前驱体材料。High-k材料即高介电常数材料，其介电常数显著高于传统二氧化硅，近年来，随着芯片制程进入纳米级，High-k前驱体应用需求不断释放，目前High-k前驱体已成为半导体前驱体主流。
High-k前驱体市场集中度较高，全球主要供应商包括德国默克Merck、法国Air Liquide、SK Materials、日本Adeka化学、雅克科技等。我国前驱体国产化率较低，高端前驱体主要依赖进口，这已成为制约我国集成电路行业的重要“卡脖子”问题。
四（二甲氨基）钛作为液体High-k前驱体材料，亦存在较大的国产替代需求。近年来，我国取得了“一种四（二甲氨基）钛的新型制备方法”、“一种四（二甲氨基）钛的精制方法与流程”等专利，为四（二甲氨基）钛国产化提供了技术支撑。
目前我国四（二甲氨基）钛产能布局企业包括江苏南大光电材料股份有限公司（南大光电）、浙江博瑞电子科技有限公司、铜陵正帆电子材料有限公司、福建纯铭新材料科技有限公司等。南大光电较早实现高纯四（二甲氨基）钛生产供应，202年上半年，南大光电实现营业收入12.29亿元，同比增长9.48%。
《电子级四（二甲氨基）钛》（计划号20231182-T-469）项目下达日期2023年12月1日，项目周期18个月，由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，实施日期拟于发布后6个月正式实施。
新思界
行业分析人士表示，作为High-k前驱体，四（二甲氨基）钛在半导体化学气相沉积（CVD）、原子层沉积（ALD）等工艺中发挥着重要作用，随着半导体工艺节点不断缩小，四（二甲氨基）钛市场需求将持续攀升，行业发展前景广阔。目前我国已实现高纯四（二甲氨基）钛生产供应，国产化率在不断提升。
关键字：
