飞秒激光是目前能够获得的最短脉冲,飞秒激光脉冲在空气中传输时,由于自聚焦效应与等离子体散焦效应达到动态平衡,会形成长且稳定的激光通道,即飞秒激光光丝。
硬脆材料,例如玻璃、蓝宝石,光学透过率优、硬度大、耐摩擦、化学性质稳定、电气绝缘性好,在消费电子、显示面板、光学元件、光学仪器、半导体衬底等多个领域应用广泛,但材料脆性大,加工难度大,传统机械加工会导致材料产生裂纹、重熔层等问题,其高质量加工技术开发极受关注。
根据新思界产业研究中心发布的
《2025-2030年中国飞秒激光光丝行业市场深度调研及发展前景预测报告》显示,飞秒激光光丝可以实现硬脆材料的高精度、高质量、高效率加工。激光重复频率不变,脉冲能量越大,光丝损伤越深;激光脉冲能量不变,重复频率越高,光丝损伤深度越大。基于此,采用飞秒激光光丝切割硬脆材料,割槽宽度极窄、断面表面质量高,能够实现深宽比割槽加工、高尺寸精度微孔加工、高质量切片加工。
除硬脆材料外,飞秒激光光丝也可以加工生物材料、聚合物材料、金属材料等。除工业激光加工领域外,飞秒激光光丝还可以应用在太赫兹通信、大气遥感、气象等方面。总的来看,飞秒激光光丝应用潜力巨大。
从政策方面来看,2024年8月,我国发布国家重点研发计划“增材制造与激光制造”重点专项2024年度项目申报指南,提出面向半导体芯片封装铝基碳化硅材料的切片需求,开展紫外飞秒光丝铝基碳化硅高速精密切片方法研究。
铝基碳化硅,也称铝碳化硅、AlSiC,是第三代封装材料,具有质量轻、比刚度高、硬度高、抗弯强度高、导热系数高、气密性优、脆性大等特点,需要采用紫外飞秒激光光丝进行切片。
新思界
行业分析人士表示,从布局科研机构与企业方面来看,2024年7月,中国科学院上海光机所团队利用飞秒激光空气成丝过程中几何聚焦与克尔自聚焦的双重作用,提出了一种基于双峰拟合的确定自聚焦阈值的新方法,相关研究结果发表于《Optics Express》。
2024年12月,杭州奥创光子技术有限公司牵头申报的国家重点研发计划重点专项“紫外飞秒光丝铝基碳化硅高速精密切片技术应用项目”成功立项,为该项目开发高功率大能量紫外飞秒激光器。我国飞秒激光光丝相关研究机构与企业还有北京工业大学、深圳市大族半导体装备科技有限公司、苏州德龙激光股份有限公司等。