CMP化学机械抛光工艺是半导体制造过程中的关键流程之一,随着集成电路芯片工艺制程技术的不断进步,芯片的集成度不断提高,使得晶圆制造对硅片表面的平整度要求也不断提高,因此对CMP工艺的需求不断增加,进而带动CMP抛光材料市场需求攀升。
CMP抛光材料种类较多,主要有抛光液、抛光垫、调节器、清洁剂等产品,其中抛光液需求最高,占比达到50%;其次是抛光垫,占比为30%;调节器排在第三,占比为9%。抛光垫决定了CMP工艺的基础抛光效果,是CMP抛光材料中重要组成部分,随着国内半导体产业快速发展,国内抛光垫市场需求持续增长,预计至2025年我国CMP抛光垫市场规模可达到4亿美元。
CMP抛光材料在集成电路制造成本中约占8%左右,是半导体产业中的高端耗材,与下游芯片产量息息相关。随着全球半导体产业快速发展,2017年全球抛光材料市场规模达到17.2亿美元,到2019年市场规模达到20.0亿美元。近几年,全球半导体产业逐渐向我国转移,国内半导体产业快速发展,对于CMP抛光材料需求持续攀升,成为全球CMP抛光材料需求增长最快的国家之一,2019年我国CMP抛光材料市场规模达到4.5美元左右,未来具有较大的发展前景。
CMP抛光材料行业门槛较高,具有一定的技术、专利壁垒、资质壁垒。在专利壁垒方面,以抛光垫举例,2019年我国抛光垫专利申请数量为20个,占据全球专利申请总数的20%左右;在技术方面,CMP抛光材料生产工艺复杂,且产品指标、配方、参数对于结果影响较大,因此企业需要耗费大量的时间成本进行实验;资质壁垒,新产品测试流程复杂,一般需要一年时间进行产品认证。
新思界
产业分析人士表示,受半导体产业发展带动,全球以及我国CMP抛光材料市场需求持续攀升,行业发展前景较好。目前全球CMP抛光材料基本被外企占据,我国企业份额较小,且由于行业壁垒较高,因此新进入企业发展难度较大。