MEMS加速度计的研究稍早于MEMS陀螺的研究。1979年，美国斯坦福大学率先研制成功，于80年代初开始在市场上销售。我国MEMS加速度计的研究始于1989年，相关研究列入重大研发专项，到目前，我国石英MEMS加速度计的研究已经取得了明显成果，形成了石英MEMS加速度计产品设计、加工、封装、测试为一体的一套流程，为我国MEMS技术进步提供了较好的平台。
MEMS加速度计尺寸小、成本低，因此在民用航空、车辆控制、高速铁路、机器人、工业自动化、探矿、玩具等低成本商业领域具有广泛应用价值。随着石英MEMS加速度计不断发展，其在仪器仪表、设备检测、方向测量、倾角和摇摆测量、工业振动检测、贵重物品防摔、运动员辅助训练等中也发挥着重要的作用。
新思界产业研究中心发布的《2017-2021年MEMS行业市场现状及投资前景预测报告》中显示：2013-2017年，我国在石英MEMS加速度计研究方面取得了较多成果。以2017年为例，北京遥测技术研究所、航天长征火箭技术有限公司、西安交通大学、西北工业大学、中国电子科技集团公司第十三研究所等机构都申请了相关专利。另外，中国航空工业第六一八研究所、北京遥测技术研究所、航天长征火箭技术有限公司等机构获得了相关产品的国防专利。
由于石英MEMS加速度计可以用于中等精度导航、战术武器等领域，再加上国内军工市场对惯导系统的需求增长较快，促进了我国石英MEMS加速度计行业的发展，所以2013-2017年，我国石英MEMS加速度计市场规模不断提高。2013年我国石英MEMS加速度计市场规模只有4.67亿元，增长率为25.3%；到2017年市场规模增加到11.19亿元，增长率23.8%。
新思界行业研究员认为：在军工领域，石英MEMS加速度计现已使用于战术兵器的中段制导，随着我国不断提高智能弹药在弹药中的比例，对石英MEMS加速度计的需求也随之提高，预计2018-2025年，我国石英MEMS加速度计市场规模不断增长，2025年我国石英MEMS加速度计市场规模有望达到24.16亿元。由于石英MEMS加速度计是惯性导航系统的组成部分，未来市场增长和需求态势与惯性导航系统的增长和需求保持较高的一致性。预计2018-2025年我国石英MEMS加速度计市场规模增速呈现下滑态势。
