高纯石英玻璃，是以高纯石英或合成高纯硅源为原料，经高温熔融（或气相沉积）、冷却固化，将晶态二氧化硅转变得到的非晶态二氧化硅特种玻璃材料。
高纯石英玻璃广泛应用于半导体、光纤通信、光学仪器、航空航天等战略性新兴产业。在半导体行业，高纯石英玻璃是芯片制造的核心关键材料。晶圆制造制程中，高纯石英玻璃制品贯穿扩散、氧化、化学气相沉积（CVD）、刻蚀、湿法清洗等全部工序，代表性器件包括石英舟、扩散管、工艺管、石英环、腔体部件、清洗槽等。光纤通信领域，高纯石英玻璃是光纤生产过程中的关键材料，主要用于光纤预制棒制备与光纤拉丝工序。航空航天领域，高纯石英玻璃可加工成光学透波、耐高温构件，服务于各类航天装备。
目前，高纯石英玻璃的制备工艺主要分为天然石英提纯熔融与化学合成制备两大主流技术路线。天然石英提纯以天然高纯石英矿为原料，先通过选矿分选去除杂质，再依托重选、浮选、酸浸、超声波辅助提纯、微波煅烧、氯化焙烧等提纯工艺，制备得到高纯石英砂，最后经高温熔融、冷却固化成型得到高纯石英玻璃。合成石英路线主要采用化学制备工艺，基于化学气相沉积（CVD）、等离子体化学气相沉积（PCVD）、间接合成等技术，通过含硅化合物的化学反应生成高纯二氧化硅基材，最终加工成型为高纯石英玻璃。
2025年4月，经国务院批准，高纯石英矿正式成为我国第174号法定矿种，明确其定义为，在当前技术经济条件下，经选矿、提纯可获得高纯石英砂二氧化硅（SiO2）纯度不低于99.995%（4N5），杂质、包裹体含量以及粒度满足半导体、光伏、光学等高新领域应用要求的岩石。
新思界
行业分析人士表示，预计2026-2032年，全球半导体用石英玻璃市场规模年复合增长率为9.7%。我国高纯石英玻璃生产企业主要有湖北菲利华石英玻璃股份有限公司、江苏太平洋石英股份有限公司、四川神光石英科技有限公司等。湖北菲利华石英玻璃股份有限公司全资子公司潜江菲利华石英玻璃材料有限公司，是国内主要的气熔高纯石英玻璃锭生产基地，2016年完成改扩建后，高纯石英玻璃锭设计年产能2400吨。
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