掺钛石英玻璃,即超低膨胀石英玻璃,是通过在石英玻璃中掺入0.05%-0.2%钛元素制成的特种材料,主要通过化学气相沉积(CVD)法、间接合成法、溶胶-凝胶法等方法来制备。
石英玻璃是一种二氧化硅单一组分的特种工业技术玻璃,具有耐高温、电绝缘性能良好、膨胀系数低等性能,在电子、医疗设备、国防、通信等领域广泛应用。根据纯度不同,石英玻璃分为高纯石英玻璃、普通石英玻璃和掺杂石英玻璃三类。掺钛石英玻璃含有二氧化钛成分,因此具有热膨胀系数极低的优点,主要在半导体、航空航天、天文等高端领域应用。
根据新思界产业研究中心发布的
《2025-2029年全球及中国掺钛石英玻璃行业研究及十五五规划分析报告》显示,随着下游行业持续发展、企业生产技术水平提升,石英玻璃市场规模不断扩大。2024年全球石英玻璃市场规模约为299亿元,预计2025-2031年期间其市场将继续以4.3%年复合增长率增长。在此背景下,掺钛石英玻璃作为石英玻璃行业细分品类之一,其全球市场也将有一定增长。
2025年5月,国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会发布行业标准《光刻用掺钛石英玻璃》GB/T 45826-2025,并于2025年12月1日起实施,该标准对光刻用掺钛石英玻璃的规格尺寸、外观质量、包装、运输等方面内容进行了规定,适用于半导体集成电路光刻反射光学系统领域。
掺钛石英玻璃行业具有高技术壁垒,因此全球具备研发和生产实力的企业和机构数量较少。美国康宁公司技术实力雄厚,在全球掺钛石英玻璃市场上占据头部地位。20世纪70年代,中国建材院成功研制出掺钛的合成石英玻璃,该材料成为无机非金属材料中膨胀系数最低的材料。2023年,湖北菲利华石英玻璃股份有限公司自主研发的超低膨胀系数石英玻璃实现了零膨点温度区域可控,可应用于空间探测、高端光学等领域,同时打破了国外垄断,有利于我国掺钛石英玻璃国产化率提高。
新思界
行业分析人士表示,掺钛石英玻璃热膨胀系数极低,在半导体、航空航天、天文、光学等高端领域有着可观应用前景。为推动掺钛石英玻璃行业发展,我国相关政府部门通过完善行业标准给予支持。掺钛石英玻璃行业技术壁垒高,但随着企业和机构加大研发力度利好下,我国掺钛石英玻璃行业生产水平将不断提高,国产化进程有望加快。
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