六氟化钨,分子式为WF6,也称为氟化钨(VI)、氟化高钨,常温下外观为无色气体或浅黄色液体状,低温下为白色固体状,有毒性、有强刺激性、有腐蚀性。六氟化钨遇水会发生反应并分解,在潮湿空气中由于分解会冒烟,产物为氟化氢、三氧化钨。六氟化钨化学性质活泼,可溶于多种有机溶剂,可与绝大多数金属发生反应。六氟化钨可用来生产碳化钨,也可以应用在半导体产业中。
六氟化钨属于钨氟化物,在钨氟化物中,六氟化钨是唯一一种被工业化生产的品类。半导体是六氟化钨的重要下游市场,可以应用化学气相沉积(CVD)工艺来制备钨膜,也可以制备二硅化钨(WSi2)用于制造大规模集成电路用配线材料,还可以用作氟化剂、催化剂等。此外,六氟化钨可制造X射线发射电极、太阳能吸收器、导电浆糊等产品,用于太阳能产业中。
在全球范围内,六氟化钨生产商主要是德国林德集团(Linde Group)、美国空气产品(Air Products)、中船重工718所派瑞气体、日本大阳日酸(Taiyo Nippon Sanso)、韩国SK Materials等。美国、德国、日本等国家六氟化钨制备及提纯起步较早,经验积累丰富,技术水平高,可以生产高纯度产品。我国六氟化钨行业起步晚,21世纪初期还不具备电子级六氟化钨规模化量产能力。
随着我国电子产业迅速发展,我国市场对电子级六氟化钨需求快速增长,由于不具备自主供应能力,市场需求依靠进口,进口电子级六氟化钨价格高昂,不利于电子产业发展。中船重工718所是我国首家研发出高纯电子级六氟化钨生产技术并实现规模化生产的企业,现阶段在我国市场中占有率最高,2020年其新建产能投产后,成为全球最大的六氟化钨生产商。
新思界
行业分析人士表示,我国中船重工718所派瑞气体与德国林德集团(Linde Group)、美国空气产品(Air Products)是全球最大的三家六氟化钨生产企业,合计市场份额占比达到72%,全球六氟化钨市场集中度高。我国电子产业规模庞大,半导体市场对六氟化钨需求旺盛,现阶段是全球最大六氟化钨需求国,国内六氟化钨生产企业未来发展前景广阔。