原硅酸四乙酯（TEOS）又被称作正硅酸乙酯、四乙氧基硅烷，主要用于油漆、树脂、催化剂、涂料中得到应用。原硅酸四乙酯生产方法多种，当前被广泛应用在工业生产中的是四氯化硅法，国内大多企业采用该方法生产。原硅酸四乙酯生产四乙氧基硅烷所需要的主要原材料为四氯化硅，而四氯化硅是三氯氢硅的副产物，具有产量大、成本低的优势，因此有利于原硅酸四乙酯行业的发展。
TEOS主要用于集成电路中制备外延材料，在半导体产业发展中起到重要作用，是微电子高端化学品，也是第三代半导体材料和新兴半导体产业中重要的前驱体材料，其生产工艺难度较大，且生产过程中对于金属离子杂质含量控制严格，当前能够实现规模化生产的企业较少。
但由于近几年生产技术的不断成熟，四氯化硅作为副产品产量逐渐下降，价格呈现上升趋势，因此原硅酸四乙酯生产成本升高。且四氯化硅法生产工艺在生产过程中会产生氯化氢气体，处理难度较高，易造成环境污染。硅粉法生产原硅酸四乙酯具有清洁环保特点，且不会产生副产物，满足工业化生产的需求，预计未来将成为原硅酸四乙酯生产的主要工艺。
原硅酸四乙酯有液体和气体两种形式，是防腐蚀涂料、铸件、电子和计算机组件、玻璃、分立器件、半导体等生产中的重要电子化学品。晨光新材属于有机硅行业中的有机硅功能性硅烷细分领域，生产有原硅酸四乙酯产品，但产量较低。2021年10月，金宏气体成功实现了TEOS的的生产，预计不久将拓展产能，计划产能达到1200吨。
新思界
产业分析人士表示，TEOS作为高端化学品，在半导体产业发展中起到重要作用，在国内外市场需求呈现增长趋势，行业发展前景较好。在生产方面，全球中化工龙头企业能够实现TEOS的生产，但目前总体产量不高，国内仅有几家企业突破技术门槛，尚未实现大规模生产。
