KrF光刻胶是光刻胶中的一种高端产品,可以覆盖在90nm-14nm,甚至是7nm技术节点,主要应用在8英寸晶圆的生产。随着半导体、LED等产业高端化、精细化发展,I线光刻胶逐渐被KrF光刻胶替代,因此KrF光刻胶行业发展前景较好。
由于晶圆大尺寸化发展成为必然趋势,当前全球市场中8英寸晶圆和12英寸晶圆需求较高,因此带动ArF光刻胶和KrF光刻胶市场需求攀升,消费占比也较高,其中ArF光刻胶市场份额占比在41%左右,而KrF光刻胶为32%。
在2021年上半年,受到福岛地震影响,日本KrF光刻胶供应紧张,向国内出口量减少,而与此同时,由于国内设备智能化发展,晶圆需求呈现增长趋势,中芯国际、华虹宏力、广州粤芯等积极扩产。在以上两大因素影响下,国内光刻胶严重不足,尤其是ArF、KrF等高端光刻胶产品,也加速我国光刻胶生产企业快速向高端化方向发展。
在2020年中国晶圆产能已经达到4800万片/年,且国内晶圆厂目前正积极扩产,预计到2022年我国将有将近10家晶圆厂有扩产计划。在晶圆企业不断扩产,以及下游需求驱动下,光刻胶市场需求攀升,预计到2022年我国光刻胶市场空间约为60亿元。
就生产方面来看,华微电子是国内光刻胶龙头企业,是最早实现KrF光刻胶生产的企业。在2021年上半年,华微电子光刻胶业务实现营收为5647.83万元,同比增长46.74%,其中KrF光刻胶产品较上年同期增长94.51%。目前华微电子生产的KrF光刻胶可用于8英寸晶圆和12英寸晶圆。
新思界
产业分析人士表示,受国内设备电子化发展,以及晶圆大尺寸发展成为趋势,使得高端光刻胶市场需求持续攀升,KrF光刻胶行业得到快速发展。在全球中,KrF光刻胶应用需求占比较高,国内KrF光刻胶需求基本上依赖进口。受到中美贸易摩擦,以及日本地震等因素影响,国内KrF光刻胶供应问题凸显,加速实现国产化。目前布局在KrF光刻胶领域的企业约有5家,华微电子是最早实现生产的企业,其他企业也在2021年突破技术限制,实现了小规模生产,未来国内市场将加速实现国产替代。