电子级八氟环丁烷,是一种电子气体,纯度>99.999%,在半导体领域应用。
八氟环丁烷也称为全氟环丁烷,是一种有机化合物,化学式为C4F8,熔点为-41.4℃,沸点为-6℃,密度为6.9kg/m3,常温下为无色气体,具有化学性能稳定、绝缘性良好、臭氧消耗潜势值ODP为零、无毒无味等优点。
根据应用领域不同,八氟环丁烷分为工业级八氟环丁烷和电子级八氟环丁烷。工业级八氟环丁烷可作为发泡剂、制冷剂、食品气雾喷射剂、气溶胶、热泵工作流体等,在化工、制冷、电力、食品工业等领域应用。电子级八氟环丁烷纯度高,杂质含量低,主要作为清洗剂、蚀刻剂,用于半导体制造。
传统八氟环丁烷纯化技术包括精馏法、吸附分离法、膜分离法等,这些方法存在生产安全性低、产物收率低等缺陷。2023年8月,山东东岳绿冷科技有限公司取得一项“电子级八氟环丁烷的纯化系统及纯化方法”专利,该发明具有生产系统运行稳定、产品纯度可达到99.9995%以上等优点。
为促进电子级八氟环丁烷行业规范化、高质量发展,近年来我国出台了多项相关标准,包括团体标准《电子级八氟环丁烷(T/CCGA 30004—2019)》、国家标准《电子气体 八氟环丁烷(GB/T 43977-2024)》等。
根据新思界产业研究中心发布的
《2026-2030年全球及中国电子级八氟环丁烷行业研究及十五五规划分析报告》显示,2024年中国半导体市场规模约为17600亿元,占全球市场份额超三分之一。伴随着半导体行业高速发展,释放大量湿电子化学品应用需求,电子级八氟环丁烷作为特种含氟电子气体,我国市场需求将随之释放,市场发展空间持续拓展。
国外电子级八氟环丁烷生产企业包括杜邦、大阳日酸株式会社、Kanto Denka Kogyo等。我国电子级八氟环丁烷生产企业包括山东东岳绿冷科技有限公司、福建德尔科技股份有限公司、金宏气体股份有限公司等。2025年7月,山东东岳绿冷科技有限公司“含氟电子特气优化改造项目”环评文件受理公示,其中包括电子级八氟环丁烷20t/a。
新思界
行业分析人士表示,电子级八氟环丁烷为绿色环保型特种气体,在半导体领域发展空间较大。随着生产工艺不断进步、相关标准日趋完善、半导体市场规模持续壮大,我国电子级八氟环丁烷市场发展速度进一步加快。目前我国已有少数企业具备电子级八氟环丁烷生产实力,受领先企业加快产能布局利好,电子级八氟环丁烷行业供给能力持续提升。
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