CLBO晶体即硼酸铯锂晶体,化学式CsLiB6O10,是一种非线性光学晶体,属于四方晶系。
CLBO晶体具有光谱范围宽、非线性系数大、抗光损阈值高、温度容差及接收角度大、紫外光透过率高等优势,常用于大功率Nd:YAG(掺钕钇铝石榴石)激光系统的四倍频(FHG)、五倍频,在紫外激光雷达、生物医学、光学通信、微纳加工、光致发光、半导体光刻等领域具有广阔应用空间。
CLBO晶体是深紫外激光变频链中的核心材料,其能够将输入的红外或可见光等常见波长激光变频输出为波长更短、能量更高的深紫外激光,全球超九成深紫外固态激光光源依赖于CLBO晶体。
CLBO晶体也是光刻机等尖端装备中产生极紫外光(EUV)的关键材料之一。EUV光刻技术是延续摩尔定律的核心突破,能够支持7nm及以下先进制程芯片制造,应用前景广阔,预计2025年-2030年,全球EUV光刻机市场规模将从120亿美元增长至220亿美元。CLBO晶体作为产生极紫外光的关键材料,市场空间也将不断扩大。
CLBO晶体具有特殊的晶体结构,决定了其极易潮解开裂的晶体特性,在生产制备、储存与使用过程中,需要严格控制操作环境的温度和湿度。CLBO晶体生长技术难度大、周期长,尤其是尺寸、高光学质量的CLBO晶体。
根据新思界产业研究中心发布的
《2025-2029年CLBO晶体(硼酸铯锂晶体)行业市场供需现状及行业经营指标深度调查分析报告》显示,由于易潮解开裂特性及生长难度大,CLBO晶体生产企业较少,且早期CLBO晶体商用生产技术主要由被国外垄断。在国际市场上,CLBO晶体供应商包括立陶宛EKSMA Optics公司、日本Oxide公司等。
我国CLBO晶体相关企业包括福晶科技、悦能光电等,其中福晶科技是全球非线性光学晶体龙头。福晶科技的CLBO晶体在深紫外波段的透光率达99%以上,间接供货ASML(目前全球唯一的EUV光刻机供应商),CLBO晶体也已进入中科院EUV原型机供应链。根据年报信息显示,2024年福晶科技非线性光学晶体营业收入2.35亿元,同比增长14.9%。
新思界
行业分析人士表示,CLBO晶体具有优良的深紫外非线性特性,潜在应用空间广阔。近年来,随着制造业转型升级、半导体工艺节点向7nm及以下演进,CLBO晶体应用需求不断释放。CLBO晶体技术壁垒高,目前全球商业化企业较少,我国已打破国际技术垄断,具备CLBO晶体自主研发和供应能力。
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