氧化镓外延片，指利用外延生长技术在氧化镓衬底上形成的单晶薄膜。氧化镓外延片具备运行成本低、电学性能好等优势，已在通信系统、汽车制造、轨道交通、储能、环境监测、国防军工以及航空航天等众多领域展现出潜在应用价值。
按照外延层与衬底材料的晶体结构是否相同，氧化镓外延片可细分为氧化镓异质外延片以及氧化镓同质外延片两种类型。氧化镓同质外延片指在β相氧化镓单晶衬底上外延生长出β相氧化镓材料而制成的外延片，其具备极高耐电压特性，能有效提升功率电子器件的工作效率以及开关速度。目前，我国企业及相关科研机构已掌握氧化镓同质外延片核心制备技术，这将为氧化镓外延片行业发展提供有利条件。
氧化镓外延片制备方法包括卤化物气相外延法（HVPE）、金属有机化学气相沉积法（MOCVD）等。卤化物气相外延法以氧气以及氧化镓作为前驱体，在高温状态下经沉积、外延生长等流程制得成品，该法具备绿色环保、生长速度快等优势；金属有机化学气相沉积法指先将氧化镓缓冲层沉积于衬底上，再经过退火处理、外延层生长等流程制得成品。
根据新思界产业研究中心发布的《
2025年中国氧化镓外延片市场专项调研及企业“十五五规划”建议报告》显示，氧化镓外延片在众多领域拥有潜在应用价值，主要包括通信系统、汽车制造、轨道交通、储能、环境监测、国防军工以及航空航天等。在通信系统领域，氧化镓外延片可用于5G高频滤波器等通信设备中；在轨道交通领域，其可用于高铁动车牵引系统中；在环境监测领域，采用其制成的日盲紫外探测器可用于检测空气中的硫氧化物以及氮氧化物。
受市场前景吸引，我国已有多家企业及科研单位布局氧化镓外延片行业研发及生产赛道，主要包括富加镓业、铭镓半导体、镓族科技、镓创未来半导体、中国电科46所等。中国电科46所为我国首家制备出HVPE氧化镓同质外延片的科研单位，技术水平位居行业领先。
新思界
行业分析人士表示，氧化镓外延片性能优异，在众多领域拥有广阔应用前景。受益于技术进步以及市场需求逐渐释放，我国氧化镓外延片行业发展速度将进一步加快。目前，我国已有多家企业及科研机构布局氧化镓外延片行业研发及生产赛道，未来其高质量产品市场占比有望提升。
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