当前位置: 新思界 > 产业 > 电子电气 > 聚焦 >

激光解键合是临时键合/解键合工艺(TBDB)主流方案 化讯半导体技术领先

2025-04-21 17:37      责任编辑:王昭    来源:www.newsijie.com    点击:
分享到:

激光解键合是临时键合/解键合工艺(TBDB)主流方案 化讯半导体技术领先

  临时键合/解键合工艺(TBDB)是实现晶圆支撑、拿持的关键技术,临时键合胶是在临时键合工艺中,将功能晶圆和晶圆载板临时黏接在一起的中间层材料。临时键合胶的键合与解键合都是通过输入光、热及外力等外界能量使临时键合胶的黏接性能生效或失效来实现的。

  解键合工艺是临时键合与永久键合的主要区别之一,根据工艺流程不同,解键合工艺主要分为热释放解键合工艺(又分为热滑移解键合和热分解解键合)、化学释放解键合工艺、激光解键合工艺、机械释放解键合工艺等。激光解键合工艺原理是利用激光源照射激光临时键合胶,激光能量被聚合物黏合剂吸收导致局部温度升高,键合胶被破坏,黏度降低而实现界面分离。

  根据新思界产业研究中心发布的《2025-2030年中国激光解键合行业应用市场需求及开拓机会研究报告》显示,激光解键合是新一代的临时解键合技术方案,具有室温操作、无应力、非接触、能量可控、解键合速度快、工艺窗口宽、抗化学性好等优势,适合于大批量生产,目前在12寸先进封装厂中,激光解键合工艺已实现广泛应用。

  激光解键合工艺需使用玻璃作为临时载板。相比于硅基板,玻璃基板具有低电学损耗、散热性能优异、光学透明等特点,更容易实现高速传输,是下一代先进封装首选。随着玻璃基板广泛应用,激光解键合工艺应用空间将随之扩大。

  临时键合胶是临时键合/解键合工艺实现的关键材料,激光解键合临时键合胶技术壁垒高,目前全球供应商较少,主要包括美国Brewer Science公司、深圳化讯半导体材料有限公司(化讯半导体)等。

  化讯半导体是国内首家实现紫外激光解键合材料量产的企业,激光解键合临时键合胶产品包括Samcien® WLP LB203、Samcien®WLP LB208等。化讯半导体在激光解键合领域技术领先,2025年3月,化讯半导体宣布完成了新一轮超亿元战略融资,本轮融资由深创投领投,元禾璞华、厦门厦金、元禾厚望等多家投资机构跟投。

  新思界行业分析人士表示,临时键合/解键合是先进封装工艺中的关键一环,其中激光解键合工艺具有室温操作、无应力、非接触、能量可控等多种优点,近年来逐渐成为临时键合/解键合工艺主流方案之一。随着器件晶圆向大尺寸、超薄化、三维集成化等方向发展,激光解键合市场空间将进一步扩大。

关键字: