薄膜钛酸钡电光调制器,是以钛酸钡薄膜为介质实现光信号调制的光电子器件。
电光调制器是利用电光晶体的电光效应对光波进行调制的器件。电光调制器是光通信系统中对光信号进行调制的核心器件,作用极为重要。与传统采用块状电光晶体的电光调制器相比,薄膜电光调制器体积小、传输速度快、功耗低,开发与应用受到关注。
钛酸钡,化学式BaTiO3,英文缩写BTO,电光系数超高,可显著提高电光调制器的调制性能。利用物理气相沉积法(PVD)、化学气相沉积法(CVD)、脉冲激光沉积法(PLD)等工艺可制备得到薄膜钛酸钡。薄膜碳酸钡介电常数高,电场响应能力强,在电光调制器制造领域可以发挥重要作用。
根据新思界产业研究中心发布的
《2025-2030年中国薄膜钛酸钡电光调制器行业市场深度调研及发展前景预测报告》显示,钛酸钡晶体是非对称斜晶结构,具有光电效应。但钛酸钡居里温度低,在薄膜钛酸钡制备、电光调制器制造过程中,当温度超过居里温度时,钛酸钡晶体结构会转变为对称晶体,失去电光效应。这对薄膜钛酸钡电光调制器技术发展形成限制。2024年7月,武汉邮电科学研究院有限公司公开了一项名为“基于高居里温度钛酸钡薄膜的电光调制器及其制备方法”的发明专利。这给薄膜钛酸钡电光调制器开发提供了一条技术路线。
钛酸钡晶体包括多晶与单晶,钛酸钡多晶工艺难度较低,钛酸钡单晶制备难度大,但其光折变效应、自泵浦相位共轭反射率、双波混频效率等性能更为优异,在电光调制器领域更具发展潜力,实验室中制备钛酸钡单晶的工艺难以实现工业化生产,这对薄膜钛酸钡电光调制器行业发展也造成一定影响。
薄膜钛酸钡电光调制器与硅光工艺兼容受到关注,可以实现薄膜钛酸钡单晶工业化制备,并能够提高集成度、增强调制性能、降低成本,实现超高速、低损耗光信号调制。
新思界
行业分析人士表示,薄膜钛酸钡电光调制器技术进步空间大,2024年8月,我国工信部发布国家重点研发计划“信息光子技术”重点专项2024年度项目申报指南,提出针对超宽带光通信与互连网络对高性能电光调制的需求,研究钛酸钡(BaTiO3,BTO)薄膜材料与电光调制器关键技术。
此外,我国地方政府对薄膜钛酸钡电光调制器行业发展也极为重视,例如2024年度武汉市重点研发计划指南方向中将基于硅光集成的钛酸钡薄膜电光调制器关键技术研发列入,上海2024年度“探索者计划”(第一批)项目申报指南中将基于钛酸钡的高性能集成电光调制器件研究列入。总的来看,我国薄膜钛酸钡电光调制器行业发展前景广阔。