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CMP抛光材料在晶圆制造中不可或缺 全球市场集中度高

2021-11-12 18:25      责任编辑:周圆    来源:www.newsijie.com    点击:
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CMP抛光材料在晶圆制造中不可或缺 全球市场集中度高

  CMP,是化学机械抛光,主要用于晶圆加工过程中,使晶圆表面达到高平整度,再进行下一步光刻。CMP集合了传统化学抛光及机械抛光的优点,可以实现纳米级高平整度精细抛光。CMP工作过程中需要使用抛光材料,目前主流CMP抛光材料有两种,一是CMP抛光液,对晶圆表面进行化学刻蚀,二是CMP抛光垫,对晶圆表面进行机械摩擦。
 
  晶圆制造流程主要包括扩散(热工艺)、光刻、蚀刻、离子注入、薄膜生长、CMP抛光、金属化七步,CMP是晶圆制造的必须流程之一。随着半导体产业技术不断升级,芯片制程越来越小,晶圆表面平整度要求越来越高,细微的表面缺陷即会影响晶圆表面氧化层生成,进而影响良品率,并且7nm以下制程芯片CMP抛光步骤增多,这使得市场对CMP抛光材料的种类及品质要求不断提高。
 
  根据新思界产业研究中心发布的《2021-2025年CMP抛光材料行业深度市场调研及投资策略建议报告》显示,质与量需求齐升,推动全球CMP抛光材料市场规模不断扩大。2015-2020年,全球CMP抛光材料市场年均复合增长率为7.9%,2020年市场规模达到25亿美元左右。中国是全球最大的半导体市场,大陆地区晶圆产能不断扩张,CMP抛光材料需求增速高于全球平均水平。2015-2020年,中国CMP抛光材料市场年均复合增长率为10.2%,2020年市场规模约为5.3亿美元。
 
  在CMP抛光材料中,CMP抛光液的主要作用是对抛光工件表面进行软化、腐蚀,便于CMP抛光垫进行机械抛光;清除抛光过程中产生的碎料,防止工件表面被划伤;吸收热量,防止温度过高;润滑、减小摩擦等。CMP抛光垫的主要作用是对抛光工件表面进行机械抛光;传送CMP抛光液,维持CMP抛光液分布,以稳定工作环境温度;清除抛光残余物,避免对工件表面造成划伤等。
 
  在全球范围内,CMP抛光材料市场集中度高。全球CMP抛光液市场占有率较高的企业主要是美国卡博特(Cabot)、日本日立(Hitachi)、日本富士美(Fujimi)、美国Versum等,四大企业合计市占率达到70%以上;全球CMP抛光垫市场占有率最高的企业是美国陶氏(Dow),市占率达到78%,其他还有Cabot、Thomas West等企业,但市占率均在5%以下。
 
  新思界行业分析人士表示,我国CMP抛光材料市场主要被日本、美国企业所占据。随着我国半导体产业快速发展,国内CMP抛光材料企业加快布局速度。我国代表性的CMP抛光材料生产企业主要有安集科技、鼎龙股份等。安集科技是我国CMP抛光液行业中的龙头企业,拥有12英寸晶圆抛光液量产能力;鼎龙股份生产的CMP抛光垫,已经通过国内主流晶圆厂认证。国产CMP抛光材料在国内市场中的占有率正在不断提高。
 
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