半导体洁净室，指通过控制空气中微粒、温湿度等参数形成的封闭洁净空间。半导体洁净室具备洁净度等级极高、环境控制精密等特点，为半导体制造基础设施。
半导体洁净室通常由空气净化系统、门窗系统、通风与空气调节系统（HVAC）、观察窗、围护结构、照明设备以及电气系统构成。空气净化系统包括超高效过滤器（ULPA）、预过滤器以及高效过滤器（HEPA）。经过多年发展，我国超高效过滤器技术不断进步，已有多家企业具备其生产实力，这将为半导体洁净室行业发展提供有利条件。
按照气体流动状态不同，半导体洁净室可分为单向流洁净室、非单向流洁净室以及矢量洁净室。矢量洁净室具备节能、净化效率高等优势，其洁净度可达到ISO5级，为半导体洁净室代表产品。
半导体洁净室为半导体制造基础设施。近年来，随着国家政策支持以及技术进步，我国芯片产量持续增长。据国家工信部统计数据显示，2025年前三季度，我国芯片产量达到3819亿块，同比增长8.6%。刻蚀、光刻、离子注入、薄膜沉积等芯片前道工艺对于洁净度要求极高，通常介于ISO3~5级之间。随着下游行业发展速度加快，我国半导体洁净室市场规模进一步增长。根据新思界产业研究中心发布的《
2025年中国半导体洁净室市场专项调研及企业“十五五规划”建议报告》显示，2024年我国半导体洁净室市场规模达到近1700亿元，创造历史新高。
我国半导体洁净室市场主要参与者包括柏诚股份、亚翔集成、圣晖集成、华康洁净、合洁科技等。亚翔集成专注于为高科技电子产业提供洁净室工程，目前已与中芯国际、长江存储等知名芯片制造商达成合作。圣晖集成为我国洁净室代表企业，据其企业半年报显示，2025年上半年公司半导体洁净室业务实现营收5.3亿元。华康洁净专注于医用洁净室以及半导体洁净室的研发、设计、实施和运维，目前产品已在芯片、先进封装、功率器件、光电器件等工厂获得应用。
新思界
行业分析人士表示，随着全球半导体产业逐渐向我国大陆转移，我国芯片产能不断扩张，这将为半导体洁净室带来广阔市场前景。目前，我国半导体洁净室行业集中度较高，头部优势企业占据市场主要份额。未来随着本土企业持续发力，我国半导体洁净室行业发展态势将持续向好。
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