高强度吸气剂,通常是指高温激活形成多孔表面以化学方法来吸附气体分子且吸附能力强的材料。
吸气剂,可以有效吸附一种或多种气体分子的制剂或装置,目的是获得/维持真空、纯化气体。在真空电子元器件领域,高强度吸气剂的作用主要包括快速提高真空度、长期维持真空度、保护敏感元件等。
高强度吸气剂可以吸附氢气(H2)、氮气(N2)、一氧化碳(CO)、二氧化碳(CO2)等气体,能够应用在惯性传感器、红外探测器、微波功率器件、示波管、行波管、中子管等真空器件领域。例如MEMS惯性传感器,其使用过程中残余或者释放的气体会影响传感精度,高强度吸气剂可以吸附这些气体,确保器件内部环境的稳定性,并防止气体分子对器件侵蚀,延长其使用寿命。
吸气剂包括蒸散型吸气剂、非蒸散型吸气剂两大类。蒸散型吸气剂通过加热使吸气剂材料蒸发形成吸附层来吸附气体分子,非蒸散型吸气剂通过加热使吸气剂材料激活来吸附气体分子。由于非蒸散型吸气剂吸附能力强,可以维持超高真空环境,且无需蒸散,无污染、稳定性好,能够加热脱附杂质气体,可以重复使用、持久性好,是一种常见的高强度吸气剂。
高强度吸气剂主要采用锆(Zr)、钛(Ti)、钒(V)等金属及其合金,其中锆合金吸气剂最为常见,代表性产品包括锆铝合金吸气剂、锆石墨吸气剂、锆钒铁合金吸气剂等。锆铝合金吸气剂凭借吸气速率高、吸气容量大的优点,可以应用于电子管、电容器、激光器、半导体器件、高能加速器、核聚变装置等制造领域。
新思界
行业分析人士表示,中国有研科技集团有限公司突破了高可靠性加热组件及高强度吸气材料制备等关键技术,开发出高强度吸气剂,主要性能指标包括吸氢速率S10:≥2400mL·s-1·cm-2,吸氢容量S120:≥1800Pa·mL·cm-2,具有低污染、高可靠性、高吸气性能等特点,可以应用在高端真空器件内部真空工作环境长效维持方面,具备持续批量供货能力。
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