WAT测试设备,全称为晶圆允收测试设备,指通过预先设计的专用测试结构对于晶圆工艺稳定性及一致性进行测试的设备。WAT测试设备具备自动化程度高、定位精度高、测试效率高、可实现无损测试等优势,可有效提升晶圆良品率。
WAT测试设备通常由探针台、测试头以及机柜三部分组成。探针台可用于装载晶圆;测试头包含探针卡接口、高精度源表以及开关矩阵,能够连接探针台和机柜。近年来,随着技术进步,我国WAT测试设备组件市场国产化进程不断加快,这将为WAT测试设备行业发展提供有利条件。
WAT测试设备有多种类型。按照测试阶段不同,WAT测试设备可分为Final WAT测试设备以及Inline WAT测试设备;按照自动化程度不同,可分为半自动WAT测试设备以及全自动WAT测试设备。全自动WAT测试设备综合性能优良,为WAT测试设备市场主流产品。
根据新思界产业研究中心发布的《
2026-2031年WAT测试设备(晶圆允收测试设备)行业市场深度调研及投资前景预测分析报告》显示,随着应用需求日益旺盛,WAT测试设备行业发展速度不断加快。2025年全球WAT测试设备市场规模超过50亿美元,同比增长近15%。在本土方面,受益于全球半导体产业逐渐向我国大陆转移,我国晶圆产能持续扩张。2025年我国12英寸晶圆月均产能达到220万片。未来伴随下游行业景气度提升,我国WAT测试设备市场空间将进一步扩展。
全球WAT测试设备主要生产企业包括美国是德科技公司(Keysight Technologies)、美国泰克公司(Tektronix)、美国吉时利仪器公司(Keithley)等。是德科技为全球最大WAT测试设备供应商,市场占比达到近八成。与欧美国家相比,我国WAT测试设备行业起步较晚,但发展势头迅猛,本土企业已具备其自主研发及生产实力。广立微、联讯仪器、精积微等为我国WAT测试设备主要生产商。广立微专注于晶圆级电性测试设备的研发、生产及销售,其推出的WAT测试设备已在12英寸晶圆规模化生产线中获得应用。
新思界
行业分析人士表示,随着我国晶圆产能持续扩张,WAT测试设备作为其制备过程中使用的重要测试设备,市场空间将持续扩展。在行业发展初期,受技术壁垒高、生产成本高等因素限制,我国WAT测试设备市场占比较低。近年来,随着应用需求日益旺盛以及本土企业持续发力,我国WAT测试设备市场国产化进程有所加快。
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