晶圆缺陷检测设备，指能够分析晶圆表面及内部物理缺陷的半导体检测设备。晶圆缺陷检测设备需具备吞吐量高、灵敏度高、安全可靠性高等特点，在晶圆制造过程中需求旺盛。
近年来，随着本土企业及相关科研机构持续发力，我国晶圆缺陷检测设备相关专利数量不断增加，主要包括《一种晶圆缺陷检测设备及检测方法》、《晶圆外观缺陷检测设备》、《晶圆缺陷光学检测设备》、《一种晶圆宏观缺陷检测设备》、《一种半导体加工用晶圆缺陷检测设备》等。未来随着研究深入、技术进步，我国晶圆缺陷检测设备行业发展速度有望加快。
按照图形特征不同，晶圆缺陷检测设备可分为图形晶圆缺陷检测设备以及无图形晶圆缺陷检测设备两种类型。图形晶圆缺陷检测设备可细分为暗场图形晶圆缺陷检测设备以及明场图形晶圆缺陷检测设备。未来随着细分产品应用需求增长，晶圆缺陷检测设备行业景气度将得到进一步提升。
根据新思界产业研究中心发布的《
2026年中国晶圆缺陷检测设备市场专项调研及企业“十五五规划”建议报告》显示，晶圆缺陷检测设备主要用于晶圆制造过程中。受益于技术成熟度提升，我国晶圆产能持续扩张，产量不断增长。2024年我国8英寸晶圆产量突破1亿片，创造历史新高。晶圆缺陷检测设备可对晶圆外观以及内部缺陷进行识别和分析，能有效提升其良品率。未来随着我国大尺寸晶圆市场占比提升，晶圆缺陷检测设备应用需求将日益旺盛。
我国晶圆缺陷检测设备主要生产企业包括中科飞测、赛腾股份、创锐光谱、华兴源创、盖泽科技等。中科飞测为我国较早布局晶圆缺陷检测设备行业研发及生产赛道的企业，其推出的无图形晶圆缺陷检测设备已入选由国家工信部发布的《第九批制造业单项冠军企业名单》。赛腾股份专注于智能制造装备的研发、生产及销售，其推出的晶圆缺陷检测设备可对晶圆正面、背面及边缘进行全方位缺陷检测。
新思界
行业分析人士表示，受益于我国晶圆产能持续扩张，晶圆缺陷检测设备作为其质量检测设备，市场空间将进一步扩展。随着行业景气度提升，我国布局晶圆缺陷检测设备研发及生产赛道的企业数量不断增长。预计未来一段时间，具备高性能晶圆缺陷检测设备生产实力的企业将占据我国市场更大空间。
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