超声波扫描显微镜，简称SAM、SAT，指通过压电换能器产生高频超声波，进而对样品进行缺陷检测的仪器。超声波扫描显微镜具备材料适应性好、可实现无损检测、响应速度快、检测精度高等特点，在半导体测试、材料科学检测、新能源等领域拥有潜在应用价值。
高频聚焦式换能器为超声波扫描显微镜重要组件，对其分辨率起到决定性作用，可分为LiNbO3单晶换能器以及薄膜式换能器。LiNbO3单晶换能器具备机电耦合系数高、压电常数高、频率高，波长小等优势，但其制备难度较大，目前尚未实现广泛应用。薄膜式换能器可细分为AlN薄膜换能器、ZnO薄膜换能器等。未来随着高频聚焦式换能器市场占比提升，我国超声波扫描显微镜行业发展速度有望加快。
超声波扫描显微镜在众多领域拥有潜在应用价值，主要包括半导体测试、材料科学以及新能源等。在材料科学领域，超声波扫描显微镜可用于检测金属材料、金属涂层材料以及复合材料；在新能源领域，其可用于太阳能电池板、新能源汽车电池冷却系统质量检测过程中。
在半导体测试领域，超声波扫描显微镜可用于集成电路封装内部缺陷检测过程中，该领域为其最大需求端。近年来，随着全球半导体产业逐渐向我国大陆转移，我国集成电路产量持续增长。据国家工信部统计数据显示，2025年前三季度，我国集成电路产量达到3819亿块，同比增长8.6%。在此背景下，我国超声波扫描显微镜行业发展空间不断扩展。根据新思界产业研究中心发布的《
2026年中国超声波扫描显微镜（SAM/SAT）市场专项调研及企业“十五五规划”建议报告》显示，2024年我国超声波扫描显微镜市场规模同比增长超过25%。
在行业发展初期，欧美以及日本等国占据超声波扫描显微镜市场主导地位，代表企业包括德国KSI公司、美国SONIX公司、日本Nikon公司等。在本土方面，我国超声波扫描显微镜主要生产商包括骄成超声波、津上智造、芯纪源半导体设备等。芯纪源推出的超声波扫描显微镜在检测速度、运行成本、灵敏度等方面已达到行业领先水平。
新思界
行业分析人士表示，超声波扫描显微镜在众多领域拥有广阔应用前景，未来随着我国半导体产业发展速度加快，其市场空间将得到进一步扩展。在行业发展初期，我国超声波扫描显微镜高度依赖进口。近年来，伴随本土企业持续发力，我国超声波扫描显微镜市场国产化进程不断加快。
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