半导体阀门，指安装于半导体设备真空系统与流体系统的关键部件，具备调节压力、切断或接通管路等功能。按照应用系统不同，半导体阀门可分为半导体真空阀门以及流体系统阀门两种类型。
半导体阀门为半导体装备重要组成部分。近年来，国家对于半导体装备行业发展高度重视，已出台多项相关政策。2023年6月，国家工信部、教育部等五部门联合发布《制造业可靠性提升实施意见》，文件明确提到要聚焦机械、电子、汽车等重点行业，提升整机装备可靠性水平。在此背景下，我国半导体阀门行业发展速度将进一步加快。
根据新思界产业研究中心发布的《
2026年中国半导体阀门市场专项调研及企业“十五五规划”建议报告》显示，半导体阀门具备密封性高、使用寿命长、洁净度高等特点，为光刻机、刻蚀机和薄膜沉积设备关键部件，在芯片制造过程中需求旺盛。近年来，随着国家政策支持以及技术进步，我国芯片产能持续扩张，产量不断增长。据国家工信部统计数据显示，2025年1-10月，我国芯片产量达到3866亿块，同比增长10.2%。未来伴随应用需求增长，我国半导体阀门行业发展空间将得到进一步扩展。
在行业发展初期，受技术壁垒高、生产成本高等因素限制，全球半导体阀门被欧美以及日本等国占据主导，我国需求高度依赖进口。瑞士VAT公司、日本CKD株式会社、日本VTEX株式会社、日本真空技术株式会社（ULVAC）、日本SMC集团、美国万机仪器有限公司（MKS）等为全球知名半导体阀门生产商。
近年来，伴随本土企业持续发力，我国半导体阀门市场国产化进程有所加快。中科艾尔、九天真空、晶盛机电、江苏神通、富创精密等为我国半导体阀门市场主要参与者。江苏神通旗下子公司神通半导体专注于半导体装备用特种阀门的研发、生产及销售，产品已小批量导入客户产线。据江苏神通企业季报显示，2025年前三季度，公司实现营收16.4亿元。
新思界
行业分析人士表示，随着我国半导体装备行业发展速度加快，半导体阀门作为其重要组成部分，市场空间不断扩展。与海外发达国家相比，我国半导体阀门行业起步较晚，但发展势头迅猛，已有多家企业具备其规模化生产实力。未来随着国家政策支持以及技术进步，我国半导体阀门行业景气度将持续提升。
关键字：
