半导体真空阀门，指能够通过调节、切断或接通管路，维持和控制特定真空环境的半导体阀门。与传统工业级真空阀门相比，半导体真空阀门具备安全可靠性高、使用寿命长、洁净度高、响应速度快等特点，在半导体离子注入设备、薄膜沉积设备、去胶与清洗设备以及刻蚀设备中应用较多。
2023年10月，由上海市闵行区中小企业协会发布的团体标准《T/SHMHZQ 021—2023 半导体真空阀门技术要求规范》正式实施，文件针对半导体真空阀门的技术要求、基本参数、形式、运输、包装以及标志等内容进行了明确规范。在此背景下，我国半导体真空阀门行业将逐渐往规范化方向发展。
半导体真空阀门类型多样，主要包括传输阀、隔离阀、插板阀以及调压阀等。传输阀主要安装于腔体之间或腔体与负载锁之间的传输通道中；隔离阀主要用于连接或隔离工艺腔室与传输腔室；调压阀又称控制阀，能够调节真空腔室内的压力和气体流量。
根据新思界产业研究中心发布的《
2026年中国半导体真空阀门市场专项调研及企业“十五五规划”建议报告》显示，半导体真空阀门主要应用于半导体设备中。近年来，随着我国半导体产业发展速度加快，半导体设备市场空间不断扩展。2024年我国半导体设备市场规模达到近450亿美元，同比增长近15%。半导体真空阀门能够连接工艺腔室、真空泵、传输腔室等半导体设备关键组件，未来随着市场需求逐渐释放，其行业景气度将得到进一步提升。
我国半导体真空阀门主要生产企业包括东莞市沃成科技有限公司、神通半导体科技（南通）有限公司、无锡凯必特斯半导体科技有限公司等。凯必特斯半导体专注于半导体真空阀门及加热零部件的研发、生产及销售，士兰半导体、华润微、中芯国际、积塔半导体等晶圆制造商为其主要客户。2025年11月，凯必特斯半导体完成数千万元A+轮融资，资金将用于半导体真空阀门技术创新过程中。
新思界
行业分析人士表示，半导体真空阀门综合性能优良，在半导体设备中拥有广阔应用前景。未来随着全球半导体产业逐渐向我国大陆转移，我国半导体真空阀门市场空间将得到进一步扩展。目前，我国已有多家企业具备半导体真空阀门研发及生产实力，凯必特斯半导体占据市场较大份额。
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