光谱椭偏仪，是基于光学椭偏效应原理，用于测定薄膜材料的层构参数（如厚度）和物理参数（折射率、消光系数、介电函数等）的仪器。光谱椭偏仪是一种先进的光学测量设备，由光源系统、偏振器、样品台、补偿器、检测器等部分组成。
光谱椭偏仪具有非接触测试、高精度测量、光谱范围宽等特点，在半导体、新能源、光学元件等领域广泛应用。在半导体领域，光谱椭偏仪可用于测试氧化物薄膜、氮化物薄膜、硅化物薄膜等，这些薄膜材料关系着集成电路性能和质量；在新能源领域，光谱椭偏仪可用于太阳能电池、燃料电池中的各种薄膜测试；在光学元件领域，光谱椭偏仪可用于反射镜、光学透镜等光学元件用薄膜测试。
根据新思界产业研究中心发布的
《中国光谱椭偏仪产业发展及“十五五规划”建议报告》显示，随着生产水平提高、半导体等下游行业快速增长，光谱椭偏仪应用需求持续释放，市场规模逐渐扩大。在细分市场方面，2024年全球半导体光谱椭偏仪市场规模约为16亿元，预计2025-2031年期间其市场将继续以5%年复合增长率增长。
国外光谱椭偏仪生产企业包括Angstrom Sun Technologies、Holmarc Opto-Mechatronics、Semilab、Sentech等。近年来，我国参与光谱椭偏仪布局的企业逐渐增多，包括系科仪器（上海）有限公司、武汉颐光科技有限公司、北京量拓科技有限公司、苏州费曼测量仪器有限公司等。
北京量拓科技有限公司是国际高端激光椭偏仪和光谱椭偏仪的主要厂商，自主研发的“ES系列光谱椭偏仪”检测精度达0.1纳米，技术指标达到国际领先水平。系科仪器（上海）有限公司已取得“一种应用于光伏电池片在线测量的光谱椭偏仪”、“一种带Mapping功能的光谱椭偏仪”等多项发明专利，并且研发的“全光谱椭偏仪（COSE PV 6.1C）”，入选《长三角G60科创走廊科学仪器选型手册》。
新思界
行业分析人士表示，光谱椭偏仪测试精度高、测试效率高，行业具有良好发展前景。受技术水平影响，国外品牌在我国光谱椭偏仪市场长期占据主导地位。在本土企业持续发力下，我国光谱椭偏仪行业技术实力不断增强，国产替代空间广阔。随着纳米测量、人工智能等技术进步，市场对光学测量设备性能要求不断提高，未来光谱椭偏仪市场将朝着智能化、多功能化方向发展。
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