半导体制造的四大关键装备分别为刻蚀机、光刻机、离子注入机以及镀膜设备。离子注入机，指能够将带电杂质离子加速到预定能量并注入到芯片表层的设备。离子注入机具备低温稳定性好、可实现高精度控制、灵活性高、成品质量好等优势，在集成电路制造领域应用广泛。
按照离子束电流和束流能量范围不同，离子注入机可分为高能离子注入机、高能大束流离子注入机、低能大束流注入机以及中束流注入机等。低能大束流离子注入机基于低能大束流技术制得，具备生产效率高、工作精度高等优势，应用范围较广，为离子注入机市场主流产品。
根据新思界产业研究中心发布的《
2025-2030年离子注入机行业市场深度调研及投资前景预测分析报告》显示，离子注入机主要应用于集成电路制造环节。近年来，随着全球半导体产业逐渐向我国大陆转移，我国集成电路产量不断增长。据国家工信部统计数据显示，2025年1-7月，我国集成电路产量达到2946亿块，同比增长10.4%。随着下游行业景气度提升，我国离子注入机行业发展态势将持续向好。
经过多年发展，我国离子注入机技术不断进步，市场国产化率有所提升，但高端产品仍依赖进口。据中国海关总署统计数据显示，2024年我国离子注入机（海关编码：84862050）进口量达到553台，出口量达到277台。美国、日本和韩国为我国离子注入机主要进口国。
全球离子注入机主要生产企业包括美国亚舍立公司（Axcelis Technologies）、美国应用材料公司（Applied Materials）、日本日新离子机械株式会社等。美国应用材料为全球离子注入机代表企业，市场占比达到近七成。
在本土方面，我国离子注入机市场主要参与者包括江苏晋誉达半导体股份有限公司、华海清科股份有限公司、北京中科信电子装备有限公司、青岛思锐智能科技股份有限公司以及上海凯世通半导体股份有限公司等。2025年7月，华海清科自主研发的首台12英寸低温离子注入机iPUMA-LT顺利出货。
新思界
行业分析人士表示，受益于我国集成电路产量不断增长，离子注入机作为其前道工艺设备，市场空间不断扩展。与海外发达国家相比，我国离子注入机行业起步较晚，具备高端产品生产实力的企业数量较少。未来本土企业亟需加大研发投入力度，以提升我国国产离子注入机市场占比。
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