等离子体射频电源系统，指能够产生和维护等离子体的高频交流电源系统。等离子体射频电源系统的工作频率通常介于2MHz至60MHz之间，具备集成度高、控制精度高、可实时进行阻抗匹配等优势，在半导体薄膜、光伏薄膜、精密光学镀膜以及显示面板镀膜等领域拥有巨大应用潜力。
全球等离子体射频电源系统市场主要集中于欧美以及日本等国，代表企业包括美国AE公司、美国MKS公司、日本DAIHEN株式会社、德国霍廷格电子有限公司（Hüttinger GmbH）等。AE专注于等离子体射频电源系统的研发、生产及销售，占据全球市场较大份额。在本土方面，恒运昌、华丞电子以及英杰电气等为我国等离子体射频电源系统主要生产商。据恒运昌企业年报显示，2024年公司等离子体射频电源系统实现营收42562万元。
根据新思界产业研究中心发布的《
2025年中国等离子体射频电源系统市场专项调研及企业“十五五规划”建议报告》显示，等离子体射频电源系统在众多领域拥有巨大应用潜力，半导体领域为其主要需求端。离子体射频电源系统可应用于半导体薄膜沉积以及刻蚀等环节，对于晶圆良率以及生产效率起到重要作用。近年来，随着全球半导体产业向我国大陆转移，我国晶圆产能不断扩张，这将为等离子体射频电源系统行业发展带来机遇。
受益于应用需求不断增长，等离子体射频电源系统行业发展空间持续扩展。2024年我国等离子体射频电源系统市场规模达到近130亿元，同比增长超过15%。未来随着技术进步以及应用范围不断扩展，等离子体射频电源系统市场规模还将进一步增长。预计到2030年，我国等离子体射频电源系统市场规模将突破300亿元。
国家对于半导体设备行业发展高度重视，已出台多项相关政策，主要包括《“十四五”数字经济发展规划》、《产业结构调整指导目录（2024年本）》、《中共中央关于进一步全面深化改革 推进中国式现代化的决定》等。在此背景下，等离子体射频电源系统作为半导体设备重要组成部分，行业发展速度将进一步加快。
新思界
行业分析人士表示，随着半导体行业景气度提升，等离子体射频电源系统市场空间不断扩展。在行业发展初期，海外国家长期占据全球等离子体射频电源系统市场主导地位。近年来，随着本土企业持续发力，我国等离子体射频电源系统技术水平不断提升。
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