俄歇电子能谱仪简称AES，又称扫描俄歇纳米探针，是一种电子束探针表面分析仪器，工作原理是采用电子源入射样品的表面激发出二次电子及俄歇电子，通过二次电子观察材料形貌，通过检测俄歇电子的能量和强度，来获得有关材料表层化学成分的定性、定量和结构信息。
俄歇电子能谱仪基本架构由电子枪、能量分析仪、探测器、分析室、溅射离子枪、信号处理与记录系统等构成，其中电子枪用于产生激发电子源，能量分析仪用于测量俄歇电子能量，溅射离子枪用于样品表面的预处理或深度剖析。
根据新思界产业研究中心发布的
《2025-2029年中国俄歇电子能谱仪（AES）市场分析及发展前景研究报告》显示，俄歇电子能谱仪可进行元素的定量分析、定性分析、面分布分析、深度剖析、价态分析等，其定量分析方法分为相对灵敏度因子法、纯元素样品法、多元素标准样品法等，其中相对灵敏度因子法较为常用。
近年来，随着科技技术进步以及新型分析器、探测器的应用，俄歇电子能谱仪性能不断提升，目前其已具备高能量分辨、高信噪比、高空间分辨、高灵敏度、分析速度快等特点。与此同时，俄歇电子能谱仪应用空间也不断扩大，目前其已广泛应用在半导体器件、微电子器件、锂电池正/负极材料、金属合金材料、催化材料、颗粒粉末材料等研究中。
在国际市场上，PHI公司是全球领先的俄歇电子能谱仪供应商。PHI公司于1969年研制了首个商用俄歇表面分析仪器，随后PHI公司持续进行技术创新，不断推出新一代俄歇电子能谱仪，如PHI 710 Auger NanoProbe，进一步奠定了PHI公司在俄歇电子能谱仪领域的领航者地位。
1982年，日本真空技术（ULVAC公司）与PHI公司合资成立ULVAC-PHI,Inc.2003年，日本ULVAC公司将ULVAC-PHI,Inc.整体收购，PHI公司成为其子公司，后因业务范围扩大、服务需求增加，其在中国地区先后成立了高德科创有限公司、高德英特（北京）科技有限公司（PHI CHINA）、爱发科费恩斯（南京）仪器有限公司，以负责PHI产品在国内销售和售后服务。
新思界
行业分析人士表示，作为表面分析仪器，俄歇电子能谱仪具有高灵敏度和高空间分辨能力，近年来，其应用极大地推动了半导体、微电子器件、新能源、冶金等领域的研究进展。国外企业起步早、技术先进、产品型号多样，在俄歇电子能谱仪生产、供应方面处于主导地位，我国进口依赖度高，国产替代空间大。
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