自动物料搬运（AMHS）是指在软件系统的控制和调度下，按照生产系统的指令，通过物料搬运设备，实现物料在生产线工序间的自动搬运。AMHS系统包括软件和硬件两部分，其中软件控制系统是AMHS系统的核心。AMHS硬件主要由存储设备、传送设备、净化设备等组成。
AMHS系统是半导体制造的核心设备，其可替代人工进行物料搬运，降低搬运过程中的振动，提升晶圆大规模量产效率。AMHS系统在半导体制造领域应用广泛，此外在面板、太阳能、光电显示器件等泛半导体领域应用也日益扩大。
目前AMHS系统已经历了第一代分离式全自动化系统、第二代一体式全自动化系统及第三代智能化AMHS系统的发展，第三代AMHS系统具有智能、大规模、随机性、实时性、动态负载平衡等特点。AMHS系统包括RGV有轨小车、OHT天车、PGV人员推车、OHT小车、AMR移动机器人等。
根据新思界产业研究中心发布的《
2024-2028年中国自动物料搬运系统（AMHS）市场行情监测及未来发展前景研究报告》显示，2023年，全球AMHS系统市场规模约300亿美元，预计2024-2028年，全球AMHS系统市场将以6.0%左右的年均复合增长率增长。AMHS系统分为底面方案和天车方案，8寸晶圆厂多采用地面方案，12寸晶圆厂通常采用天车方案，即OHT高架起重运输车、OHS头顶运输车。
目前半导体用AMHS系统市场主要由国外企业占据主导，包括日本大福、日本村田机械、韩国SEMES等，其中日本大福是全球AMHS系统市场龙头。半导体用AMHS系统性能影响着晶圆整体产线的运营，出于谨慎原因，晶圆厂不会轻易更换AMHS系统厂商，因此新兴国产AMHS系统企业进入该领域存在极高的门槛。
随着半导体产业向东转移，我国已成为全球半导体制造中心，半导体用AMHS系统国产替代需求随之释放。近年来，得益于技术进步，我国进入AMHS系统市场的企业不断增加，包括友上智能、爱斯达克、捷螺系统、迦智科技、成川科技、芯运智能等，AMHS系统市场竞争日益加剧。
新思界
行业分析人士表示，AMHS系统行业存在一定的进入壁垒，日本企业在全球市场上处于领先地位。我国是半导体制造大国，随着外部政治环境的变化，AMHS系统国产替代需求释放，本土AMHS系统企业迎来了发展机遇。目前我国AMHS系统市场布局企业较多，市场竞争激烈，未来低成本、高效率、高性能将成为AMHS系统企业开发的重要方向。
