离子泵，是电子显微镜（电镜，EM）真空系统中用来形成超高环境真空度的重要装置。无论是扫描电子显微镜（扫描电镜，SEM）还是透射电子显微镜（透射电镜，TEM），都需要配置真空系统，将电子枪、探测器、样品等全部置于高真空环境中进行工作。
电子显微镜工作时，如果真空度不足，首先电子枪灯丝极易烧断或者寿命缩短；其次空气分子在电子束照射下会发生散射，导致电子束照射样品概率降低，并且会影响分析结果真实性；再者探测器接收信号的效率也会下降。因此，真空系统是电子显微镜不可或缺的组成部分。
电子显微镜真空环境形成与维持需要利用多台真空泵，常规电镜一般采用机械泵、油扩散泵，前者作为前级泵使用，后者在前者工作完成后再启动，二者配合，真空度可达到10-4Pa。高端电子显微镜具有超高分辨率，为满足分辨率要求，真空度必须达到1E-10mbar量级的超高真空，此时需要采用离子泵。
在全球范围内，安捷伦（Agilen）是最具代表性的离子泵研发生产商，其收购的瓦里安（Varian）于20世纪50年代后期开发了全球首台溅射离子泵。目前，安捷伦可以提供多种类型的离子泵产品，例如钛升华复合离子泵、非蒸散型吸气剂复合离子泵等，能够满足不同场景应用需求。
在国家政策支持下，近年来我国电子显微镜行业发展迅速，扫描电镜、透射电镜、扫描透射电镜、场发射电镜以及相关核心关键零部件具有自主研制实力，对电子显微镜真空度要求已经达到10-7Pa及以上。在此背景下，我国必须实现离子泵自主研发生产。
新思界
行业分析人士表示，2023年度国家重点研发计划“基础科研条件与重大科学仪器设备研发”重点专项中提出，开发电子显微镜专用低漏磁离子泵，突破高稳定性、低电磁干扰、低漏电流等关键技术，实现在场发射扫描电子显微镜、场发射透射电子显微镜等仪器中的应用。这将推动我国电镜离子泵行业研制实力不断提升。
