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E-T探测器(ETD)是主流二次电子探测器 全球市场需求不断上升

2024-03-02 16:55      责任编辑:周圆    来源:www.newsijie.com    点击:
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E-T探测器(ETD)是主流二次电子探测器 全球市场需求不断上升

  E-T探测器(ETD),由埃弗哈特(Everhart)、索恩利(Thornley)两位科学家设计发明,以发明家名字命名,是一种重要的二次电子探测器,探测入射电子与样品相互作用产生的低能量电子,从材料来看其属于闪烁体-光电倍增管探测器,主要用于扫描电子显微镜(扫描电镜,SEM)中。
 
  20世纪50年代,扫描电镜首次采用光电倍增管来收集二次电子,但二次电子收集效率低,图像信噪比低。20世纪60年代,埃弗哈特、索恩利在前者的基础上进行改进,使二次电子先通过闪烁体再通过光电倍增管,显著提高了二次电子的收集效率,提高了图像信噪比。
 
  扫描电镜通常需要探测二次电子(SE)、背散射电子(BSE)两种信号,二次电子是入射电子与样品表面最浅处相互作用,发生非弹性散射产生的低能量电子,可以反映样品表面形貌细节。E-T探测器通常探测二次电子,但也可以探测背散射电子,其探测的信号成分较为复杂。
 
  E-T探测器的工作原理是,样品表面产生二次电子后发射,经正电场加速后,先到达闪烁体,闪烁体将其转换为光信号,输送给光电倍增管,光电倍增管将光信号放大,再转换为电信号,传输给计算机处理获得图像。
 
  根据新思界产业研究中心发布的《2024-2029年中国E-T探测器(ETD)行业市场深度调研及发展前景预测报告》显示,E-T探测器具有信号收集效率高、探测速度快的优点,装配于样品台一侧,属于旁置式探测器,主要收集低角度电子信号,适合观察立体感强的样品,是扫描电镜中必须配置的二次电子探测器。E-T探测器是二次电子探测器产品中最常见类型,通常所说的二次电子探测器即E-T探测器。
 
  扫描电镜具有分辨率高、成像速度快、无损检测、适用对象范围广等优点,被广泛应用在生命科学、临床医学、材料科学、地质科学、检验检测等领域,需求持续增长。2023年,全球扫描电镜市场规模达到36.6亿美元。E-T探测器作为扫描电镜的标配探测器,需求将随着扫描电镜市场扩大而不断上升。
 
  新思界行业分析人士表示,电子显微镜正在向高分辨率方向发展,场发射扫描电镜(FESEM)成为扫描电镜发展趋势,可以在纳米尺度上分析样品表面形貌。为了满足高分辨率要求,场发射扫描电镜除了需要配置E-T探测器外,还需要配置镜筒内/物镜内二次电子探测器,以及电子背散射衍射(EBSD)探测器等。未来,E-T探测器将配合其他探测器共同使用。
 
关键字: 二次电子探测器 E-T探测器 旁置式探测器