电子背散射衍射（EBSD）探测器是扫描电镜重要配套装置 我国政府重视度高

　　电子背散射衍射（EBSD），是利用衍射电子束来分析样品结晶学方位的技术，电子背散射衍射探测器，是基于EBSD技术，探测电子背散射衍射花样，确定样品晶体特征信息的仪器，一般与扫描电子显微镜（扫描电镜、SEM）配套使用。

 

　　电子背散射衍射探测器的工作原理是，扫描电镜利用电子束扫描样品表面，电子束照射样品时，与样品表面原子散射产生背散射电子，这些电子与晶体表面相互作用，若满足布拉格衍射条件则发生衍射，即电子背散射衍射，会形成携带有晶粒方位信息的衍射花样，被探测器收集到，经过分析可获得样品的晶体结构、取向、相、晶界等信息。

 

　　扫描电镜可以搭配多种类型的探测器，例如旁置式电子探测器（ETD）、二次电子探测器（SED）、阴极发光（CL）探测器、电子背散射衍射（EBSD）探测器等。电子背散射衍射探测器凭借产生的信号易于被捕获、可提供高分辨率信息、信息获取速度快、分析精度高等优点，成为扫描电镜最常用的探测器产品之一。

 

　　根据新思界产业研究中心发布的《2024-2029年中国电子背散射衍射（EBSD）探测器行业市场深度调研及发展前景预测报告》显示，电子背散射衍射探测器可以用来进行金属、合金、半导体、陶瓷、纳米晶、超导体、薄膜、石英等材料的晶体学研究，测量晶体的结构、亚结构、晶粒尺寸、晶粒取向、相、晶界、形变率等参数，能够广泛应用在新材料、电子、通信、汽车、核工业、航空航天、科研等领域，揭示材料内部微观结构，分析材料性能，实现新材料研发、已有材料性能优化。

 

　　在海外市场中，电子背散射衍射探测器领先研制厂商主要有牛津仪器、布鲁克、TESCAN等。牛津仪器推出电子背散射衍射（EBSD）探测器Symmetry S2，具有高速、高灵敏度、高衍射花样质量等特点，可迅速实现织构和晶粒度表征，以及精细应变和相分析。

 

　　新思界行业分析人士表示，我国扫描电镜研制能力不断进步，纳克微束（钢研纳克）推出的FE-1050系列场发射扫描电子显微镜，可以兼容电子背散射衍射探测器。在此背景下，我国政府对电子背散射衍射探测器技术发展重视度高，2023年度国家重点研发计划“基础科研条件与重大科学仪器设备研发”重点专项中，提出开发高精度电子背散射衍射探测器，实现在扫描电子显微镜的应用。这将推动我国电子背散射衍射探测器自主研制能力不断提升。

 

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