真空机器人，是在真空环境下工作的一类机器人，可对不同规格的物料进行高精度、高速度、高稳定性搬运。真空机器人可以应用在半导体、显示面板、太阳能电池板等领域，其中，半导体是重要下游市场，可实现晶圆在真空条件下传输。
芯片制造涉及到多个环节，在此过程中，大气环境中的物质会对芯片质量、良率造成影响，因此芯片制造需要在真空条件下进行，真空机器人不可或缺。随着技术进步，芯片制程不断缩小，对环境条件的要求进一步提高，因此真空机器人性能要求还在不断提升，地位重要性日益突出。
根据美国半导体产业协会（SIA）公布数据显示，2021年，全球芯片销量达到1.15万亿片；全球半导体市场销售规模达到5559亿美元，同比增长26.2%；中国半导体销售规模为1925亿美元，同比增长27.1%，占比最大达到34.6%。即使受到新冠疫情影响，2020-2021年，全球半导体市场发展势头依然强劲，利好半导体生产设备行业发展，真空机器人市场空间广阔。
根据新思界产业研究中心发布的
《2022-2027年中国真空机器人行业市场深度调研及发展前景预测报告》显示，在全球范围内，真空机器人生产商主要有德国库卡（KUKA）、瑞士ABB、瑞士史陶比尔（Staubli）、日本安川（Yaskawa）、日本发那科（FANUC）、日本RORZE、日本JEL等。其中，日本知名度高、生产实力强的真空机器人企业数量较多，全球市场竞争力强。
我国是全球最大的半导体市场，近年来在国家政策的支持下，半导体产业规模不断扩大，市场对真空机器人的需求不断增长。真空机器人技术壁垒高且地位重要，成为制约半导体生产设备研发与生产的关键部件。在全球市场中，真空机器人领先生产商主要集中在日本与欧洲地区，为限制我国半导体产业发展，各国对出口到我国的真空机器人严加管控，因此我国自主研发真空机器人需求极为迫切。
新思界
行业分析人士表示，2009年，我国新松机器人成功研制出国内首台真空洁净机器人，可以为芯片厂商提供服务，打破了技术与市场被国外企业垄断的格局。目前，我国具备真空机器人生产能力的企业数量少，除新松机器人外，还有北京京仪、华聚科技、沃芯智能等。除国内企业外，库卡、安川、ABB、史陶比尔、发那科等欧美厂商也纷纷在国内建厂，本土真空机器人厂商面临较大竞争压力。
