显微测量仪是采用光透过、光反射的方式对工件长度和角度进行精密测量；三维光学测量仪采用非接触式三维测量方法对工件几何公尺和形位公差进行精密测量。三维光学显微测量仪同时具备前两者的优点，利用白光干涉原理，非接触式对工件进行全面的表面三维形貌特征分析。
三维光学显微测量仪利用光学原理对研究对象成像及分析，具有无需接触、分析速度快的优点；可呈现研究对象的三维资料，采集的数据更为全面；利用光学层析技术对研究对象进行成像，可实现超大视野范围、毫米级垂直分辨率，分析结果准确度高。总的来看，三维光学显微测量仪具有非接触、分辨率高、测量精度高、测量数据全面、测量速度快、实时显示被测对象动态形态等优点。
三维光学显微测量仪是为工业精密加工、高精细度质量控制以及科研、研发等领域设计的专业测量仪器，可以满足各种表面测量需求。三维光学显微测量仪可广泛应用在集成电路、半导体、数据存储器、电子、LED、太阳能电池、精密机械、仪器仪表、医疗器械、生物医学、模具、五金、塑料、新材料、航空航天以及科研等众多领域，下游可应用范围极广。
根据新思界产业研究中心发布的
《2021-2025年三维光学显微测量仪行业深度市场调研及投资策略建议报告》显示，三维光学显微测量仪是集力学、物理学、信息技术、计算机技术、电子技术、机械技术、显微技术等于一体的测量仪器，行业技术壁垒高。在全球范围内，三维光学显微测量仪领先生产商是德国布鲁克（Bruker），具备高端产品研发及生产能力。在我国，三维光学显微测量仪生产企业数量较少，特别是具备高性能产品量产能力的企业数量极少。
新思界
行业分析人士表示，随着经济发展，我国市场对仪器仪表的需求不断上升。根据国家统计局数据显示，2020年，我国仪器仪表行业实现销售收入7660亿元，同比增长3.5%。三维光学显微测量仪作为一种测量精度高、测量数据全面、非接触式的测量仪器，市场空间正在不断增大。但与欧美国家相比，我国三维光学显微测量仪行业核心竞争力较弱，国外企业在国内市场占据主导地位。
“十四五”国家重点研发计划“基础科研条件与重大科学仪器设备研发”重点专项中提出，针对光电探测器、MEMS微系统、半导体集成电路等微小型器件和光学器件表面和亚表面缺陷检测需求，开发具有自主知识产权、质量稳定可靠、核心部件国产化的复杂微结构三维光学显微测量仪。这将推动我国三维光学显微测量仪行业技术不断进步。
