辉光放电质谱仪（GDMS），是无机质谱仪的一种，是利用辉光放电源作为离子源与质谱仪联接进行质谱测定的仪器。辉光放电质谱仪是直接分析固体材料元素成分的重要工具，可以分析元素周期表中除了氢以外的所有元素，具有元素分析范围广、可检测超低浓度元素、分析速度快、分析精度高等优点。
由于具有阴极溅射、彭宁电离等功能，辉光放电质谱仪可以直接从固体样品中获取原子进行检测分析，避免固体材料转化成溶液时造成玷污，是目前分析元素范围最广、分析灵敏度最高的方法，在多个学科中得到广泛应用，特别是在等离子体沉积、高纯材料杂质成分等监控与分析方面是最有效工具。
辉光放电质谱仪可用来分析半导体材料（例如砷化镓、碲化镉等），分析高纯金属、稀有金属、贵金属等，分析复合材料、高纯合金、溅射靶材、绝缘材料等，分析碳、氮、氧、磷、硫等，分析测定这些材料的元素组成、杂质含量、纯度等。
根据新思界产业研究中心发布的
《2021-2025年辉光放电质谱仪（GDMS）行业深度市场调研及投资策略建议报告》显示，在全球范围内，辉光放电质谱仪生产商主要是美国赛默飞世尔（Thermo Fisher）、日本堀场（HORIBA）等。辉光放电质谱仪是科研、材料研发等领域不可或缺的重要仪器，其地位重要性突出，在全球，美国处于技术领先地位，其次是日本。美国赛默飞世尔辉光放电质谱仪研发及生产技术成熟，在全球市场中处于主导地位，特别是在高端市场中处于垄断地位。
质谱仪技术壁垒高，我国质谱仪行业起步较晚，一直以来需求依靠进口。进入21世纪，科研、工业、医疗等领域对质谱仪需求旺盛，进口规模整体呈现不断增长态势。2020年，我国质谱仪进口规模达到107亿元左右。辉光放电质谱仪作为质谱仪细分产品的一种，我国市场需求同样依赖进口。
新思界
行业分析人士表示，辉光放电质谱仪进口产品价格高昂，作为关键分析仪器之一，其核心技术由国外企业所控制，在国际政治经济形势多变下，进口风险增大。在此背景下，我国必须实现国产化替代。“十四五”国家重点研发计划“基础科研条件与重大科学仪器设备研发”重点专项中，提出开发具有自主知识产权、质量稳定可靠、核心部件国产化的辉光放电质谱仪产品。未来我国具有辉光放电质谱仪研发及生产能力，且产品性能得到下游客户认可的企业发展前景广阔。
